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静電チャック専用高圧電源

  • ±0.5kV~±5kV
  • 2W~10W
  • ±500Vをラインナップ
  • RFフィルタ標準装備

静電チャック専用として開発された高圧電源

HCUシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。
DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。

概要

  • 静電チャック専用設計
  • +、-2出力タイプ
  • 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズな剥離
  • RFフィルタ内蔵
  • ローカル、リモート、RS-232Cで操作可能

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧[kV] 電流[mA]
HCU-0.5PN10(R) 0~+0.5kV/0~-0.5kV 10mA 購入前 購入後
HCU-1PN3(R) 0~+1kV/0~-1kV 3mA 購入前 購入後
HCU-1.5PN2(R) 0~+1.5kV/0~-1.5kV 2mA 購入前 購入後
HCU-2PN1(R) 0~+2kV/0~-2kV 1mA 購入前 購入後
HCU-2PN3(R) 0~+2kV/0~-2kV 3mA 購入前 購入後
HCU-4PN1(R) 0~+4kV/0~-4kV 1mA 購入前 購入後
HCU-5PN2(R) 0~+5kV/0~-5kV 2mA 購入前 購入後

仕様

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

使用波形例

高圧電源HCUシリーズ・使用波形例

出力電圧設定特性

高圧電源HCUシリーズ・出力電圧設定特性

オプション

-L(7m)

出力高圧ケーブル 7m長 2本

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。
〈例〉HCU-0.5PN10(R)-L(7m)

別売品

出力ケーブル
【標準添付】 CN-BNC-HVPP(5) CN-BNC-HVPP (5)
両端MHV
5m長
長さ指定可能

※標準は“(5)”、-L(7m)選択時は“(7)”になります。

外形寸法

外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

ダウンロード

ダウンロードできない場合の解決方法

ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。

  1. Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
  2. WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
  3. ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
  4. パソコンを再起動し、再度お試しください。
  5. 別のパソコンで、再度お試しください。

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