0120-747-636
単出力・組込型 リバースタイプ高圧電源
HMECシリーズは、静電チャック専用に開発された高圧電源です。小型組込型で装置への組込が容易です。
外部信号により出力極性を切り替えることでスムーズにウェハやガラス基板の剥離が可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。±1kV ～ ±10kVまで幅広いラインナップによりジョンソン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。
概要
- 静電チャック専用設計
- 両極性切替式によるスムーズな剥離
- 外部信号による出力極性、出力電圧の制御
- 出力電圧・電流モニタ付
ラインナップ
| モデル名 | 出力 | お問い合わせ | |
|---|---|---|---|
| 電圧[kV] | 電流[mA] | ||
| HMEC-1R10 | 0～+1kV/0～-1kV | 10mA | 購入前 購入後 |
| HMEC-1.5R6.6 | 0～+1.5kV/0～-1.5kV | 6.6mA | 購入前 購入後 |
| HMEC-2R5 | 0～+2kV/0～-2kV | 5mA | 購入前 購入後 |
| HMEC-3R3.3 | 0～+3kV/0～-3kV | 3.3mA | 購入前 購入後 |
| HMEC-5R2 | 0～+5kV/0～-5kV | 2mA | 購入前 購入後 |
| HMEC-10R1 | 0～+10kV/0～-10kV | 1mA | 購入前 購入後 |
仕様
オプション
- -L（1m）
-
出力高圧ケーブル
1m長
- -L（3m）
-
出力高圧ケーブル 3m長
- -L（5m）
-
出力高圧ケーブル 5m長
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。
〈例〉HMEC-1R10-L（1m）
接続図
接続方法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
外形寸法
外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
ダウンロードできない場合の解決方法
ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。
- Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
- WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
- ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
- パソコンを再起動し、再度お試しください。
- 別のパソコンで、再度お試しください。
-
静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2023/7/27 rev.14
PDF(5,281KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2023/07/27 Rev.06
PDF(871KB)
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