• Precision SEM 3500
  • Precision SEM 3500

NEWPrecision SEM 3500

低加速の電圧ながら高分解能な観察を実現

ハイレゾ低加速走査電子顕微鏡

  • Dual Lens SEM
    特許取得済
  • 弊社独自開発
    ボトムレンズ 搭載

業界初のDual Lens SEM。汎用SEMの使い勝手とFE-SEMレベルの性能を両立

PrecisionSEM3500の特徴をこちらの動画でご紹介します。ご覧ください。

特長

高い技術を誇る独自の大電流・高安定・低ノイズ電源によって実現した新しい走査電子顕微鏡

低加速ハイレゾSEMの照射電圧の画像や反射電子検出器像などサンプル撮影画像です。
ハイレゾ低加速走査電子顕微鏡PrecisionSEM3500の本体画像です。

測定試料・箇所に合わせた3つの観察モード

業界初の新光学系Dual Lens SEMにより、汎用SEMと同様の観察から、FE-SEMに迫る高解像度な画像の取得まで、測定試料に合わせた観察が可能です。

ハイレゾ低加速モード

低加速の電圧ながら高分解能な観察が可能・試料最表面の観察などに最適なモード
弊社独自開発のボトムレンズと試料に負電圧を印加するリターディング法を用いることで、低加速で高分解能な画像が得られます。試料最表面の高分解能観察が可能になりました。

ボトムレンズモード

汎用SEMよりも高分解能な観察が可能なモード
ボトムレンズにより、試料とレンズの距離を近づけることができました。 これにより汎用SEMよりも高分解能な画像が得られます。

トップレンズモード

汎用SEMと同様のレンズを使用するモード
一般的なアウトレンズも採用しているため、汎用SEMと同様の観察が可能です。

3つの観察モードの【 分解能-加速電圧 】の関係図

新光学系Dual Lens SEMにより、低い電圧であっても分解能の高い観察を可能にしました。
ハイレゾ低加速モードは、高い電圧に耐えられない試料の観察などに最適なモードです。

Dual Lens SEMは汎用SEM以外にも高分解能SEMや高分解能Dual Lens、分解能が高いハイレゾ低加速SEMが撮影領域です

オプション

-LEDS

エネルギー分散型X線分析装置(EDS)

-LCB

SEMコントローラボックス

よくあるご質問

Precision SEMの特徴を教えてください

Precision SEMの特徴

新電子光学系の低加速分解能 W-SEM

Precision SEMは新しい電子光学系を採用したことによりタングステンSEM(W-SEM)の枠を超える業界最高クラスの分解能を備えた走査電子顕微鏡です。

高性能対物レンズ

独自に開発した試料の下側に設置した高性能対物レンズにより、特に厚みの薄い試料において、従来のW-SEMでは難しかった高精細な拡大画像を得ることに成功しました。

リターディング法を採用

試料に負電圧を印加して一次電子を試料直前で減速させるリターディング法を下側対物レンズに適用する独自開発技術によりW-SEMの枠を超える低加速で高分解能な走査電子顕微鏡の開発に成功しました。

高性能フローティング高圧電源採用

当社が創業以来培ってきた高圧電源技術を駆使して、高性能低ノイズフローティングSEM用電源を新規開発することにより、ノイズの少ない非常にクリアな拡大画像が得られます。

使いやすいユーザーインターフェイス

シンプルな操作画面に加え、タッチパネル操作で快適な作業が行えます。

静音設計の真空排気系

独自の真空排気系により、静粛な環境を実現しました。
観察中に動作している真空ポンプはターボ分子ポンプと小型のロータリーポンプです。大型のロータリーポンプは大気からターボ分子ポンプに切り替えるまでの間のみ動作します。小型のロータリーポンプの音は比較的小さいです。さらに必要があれば静音ボックスも用意できます。

画像の違いを見せてください

二硫化タングステン微細パウダーの比較例を示します。

汎用SEM 従来

2kV(加速電圧)3000倍

2kV(加速電圧)3000倍

新電子光学系

リターディング4kV-2kV=2kV(照射電圧)

リターディング  4kV-2kV=2kV(照射電圧)

1kV(加速電圧)6500倍

1kV(加速電圧)6500倍

リターディング 5kV-4kV=1kV(照射電圧)

リターディング 5kV-4kV=1kV(照射電圧)

1kV(加速電圧)15000倍

1kV(加速電圧)15000倍

リターディング 5kV-4kV=1kV(照射電圧)

リターディング 5kV-4kV=1kV(照射電圧)

汎用SEM 従来

汎用SEM 加速電圧1kV

汎用SEM 加速電圧1kV 低加速観察 拡大比較

1kV(加速電圧)
二硫化タングステン微細パウダー

新電子光学系

新電子光学系では表面状態がきれいに見えます。

新電子光学系では表面状態がきれいに見えます。

リターディング
5kV-4kV=1kV(照射電圧)

どのような試料が観察できますか?
金属材料、絶縁物材料、試料断面、熱に弱いサンプル、ゴム、粉末、微粒子、ナノ材料、カーボンナノチューブ、トナー、顔料、半導体、透明電極、昆虫、藻類、細胞組織、カビの胞子、ジャガイモ、粉乳などさまざまな試料観察ができます。必要に応じて金属コーティングや脱水乾燥が必要になります。
エネルギー分散型X線分析装置(EDS/EDX)は取り付けられますか?
可能です。
SEMの設置場所について教えてください。

設置条件

振動の多い場所、電磁波ノイズや磁場ノイズの多い場所、騒音の大きい場所、粉塵の多い場所などには設置できません。

  1. 振動に関して:
    設置場所の近くに工作機器などの振動源や電車などによる振動がある場合、十分な性能が発揮できません。
    また、設置場所が地下や1階でない場合、または床がOAフロアのような振動しやすい床の場合にも十分な性能が発揮できません。
  2. 電磁波ノイズ、磁場ノイズに関して:
    SEMの設置場所近くに電流変化、磁場変化を発生させる設備がある場合、磁場により電子ビームが揺らされ、SEM像にノイズが現れます。
    例えば、扇風機や掃除機などの小型電気機器からも磁場ノイズが発生します。また、地磁気の流れを変えるような磁性体を動かすことでもSEM像は揺れます。例えば、SEM像の観察中に鉄材を含む椅子を移動させるとSEM像にノイズが入ることがあります。ドライバーのようなものでも、SEM近くで移動させるだけでSEM像にノイズが入ります。
  3. 騒音に関して:
    音波は空気振動であり、異常に騒音を発生する装置がSEM周辺にある場合、像障害を生じる場合があります。
    問題になりそうな場所に設置したい場合、あらかじめ環境測定をしておくことをお勧めします。

磁場ノイズの低減が必要な場合、変動磁場を打ち消すアクティブ磁場キャンセラーの設置を検討する必要があります。
振動ノイズが問題になる場合、床振動をSEMに伝えないようにするアクティブ除振などの設置を検討する必要があります。
個別にご相談ください。

ダウンロード

ダウンロードには会員登録が必要です。

本サイトでは、取扱説明書等の資料は全て最新版のみを公開しています。お持ちの製品によっては資料の版が異なる場合もありますのでご了承ください。

未登録の方はこちら

新規会員登録(無料)

会員の方はこちら

ログイン

顕微鏡/デジタルカメラ

顕微鏡/デジタルカメラに関する製品を探す