• Precision SEM 3500
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NEWPrecision SEM 3500

低加速の電圧ながら高分解能な観察を実現

ハイレゾ低加速走査電子顕微鏡

  • Dual Lens SEM
    特許取得済
  • 弊社独自開発
    ボトムレンズ 搭載

業界初のDual Lens SEM。汎用SEMの使い勝手とFE-SEMレベルの性能を両立

PrecisionSEM3500の特徴をこちらの動画でご紹介します。ご覧ください。

特長

高い技術を誇る独自の大電流・高安定・低ノイズ電源によって実現した新しい走査電子顕微鏡

低加速ハイレゾSEMの照射電圧の画像や反射電子検出器像などサンプル撮影画像です。
ハイレゾ低加速走査電子顕微鏡PrecisionSEM3500の本体画像です。

測定試料・箇所に合わせた3つの観察モード

業界初の新光学系Dual Lens SEMにより、汎用SEMと同様の観察から、FE-SEMに迫る高解像度な画像の取得まで、測定試料に合わせた観察が可能です。

ハイレゾ低加速モード

低加速の電圧ながら高分解能な観察が可能・試料最表面の観察などに最適なモード
弊社独自開発のボトムレンズと試料に負電圧を印加するリターディング法を用いることで、低加速で高分解能な画像が得られます。試料最表面の高分解能観察が可能になりました。

ボトムレンズモード

汎用SEMよりも高分解能な観察が可能なモード
ボトムレンズにより、試料とレンズの距離を近づけることができました。 これにより汎用SEMよりも高分解能な画像が得られます。

トップレンズモード

汎用SEMと同様のレンズを使用するモード
一般的なアウトレンズも採用しているため、汎用SEMと同様の観察が可能です。

3つの観察モードの【 分解能-加速電圧 】の関係図

新光学系Dual Lens SEMにより、低い電圧であっても分解能の高い観察を可能にしました。
ハイレゾ低加速モードは、高い電圧に耐えられない試料の観察などに最適なモードです。

Dual Lens SEMは汎用SEM以外にも高分解能SEMや高分解能Dual Lens、分解能が高いハイレゾ低加速SEMが撮影領域です

オプション

-LEDS

エネルギー分散型X線分析装置(EDS)

-LCB

SEMコントローラボックス

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