• PrecisionSEM5600|走査電子顕微鏡|松定プレシジョン
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NEWPrecision SEM 5600

走査電子顕微鏡

従来の汎用SEMよりも低加速電圧領域での分解能向上を実現

  • Dual Lens SEM
    特許取得済
  • 弊社独自開発
    ボトムレンズ 搭載

最表面を、美しく。
独自開発の新光学系、Dual Lens SEM搭載。

松定プレシジョンは高安定度・低ノイズの可変電圧をコア技術に、2つの対物レンズを搭載した弊社独自の新光学系SEM「Dual Lens SEM」を開発しました。この技術により、従来の汎用SEMでは難しい低加速電圧の高分解能な観察を可能にしました。高加速電圧による試料表面近傍の内部情報の取得はもちろん、試料最表面の高分解能な観察まで、様々なユーザーの使用目的に対応することができます。

サンプル測定・デモの依頼を受け付けております。他社製品と比較してご検討ください。

特長

新光学系Dual Lens SEM特許取得

業界初の新光学系
Dual Lens SEM について

新光学系Dual Lens SEMでは、弊社独自開発のボトムレンズと汎用SEMと同様のトップレンズの2つのレンズを搭載しています。トップレンズは汎用SEMと同様の観察が可能なレンズで、ボトムレンズはセミインレンズを逆さにしたような構造です。この構造は試料を磁界中に置くため、トップレンズと比べて対物レンズの収差が小さく、高解像度な画像が得られます。

  • ボトムレンズモード 加速電圧 4kV

    試料:トナー 二次電子検出器

  • ハイレゾ低加速モード 照射電圧 2kV(7kV-5kV)

    試料:二硫化タングステン 反射電子検出器

低加速の電圧ながら高分解能な観察が可能試料最表面の観察などに最適なモード
ハイレゾ低加速モード

リターディング電圧を試料に印加することで、試料の表面構造をより高分解能に観察する方法です。弊社独自開発のボトムレンズとリターディング法を組み合わせた業界初の方法です。※2020年10月現在

ハイレゾ低加速モードは、試料に負の電圧を印加して、電子線を試料直前で減速させるリターディング法と、弊社独自開発のボトムレンズを組み合わせて使用します。リターディング法により、電子は試料に深く入らないため、電子線による試料へのダメージ低減と試料の表面構造の観察を同時に行うことが可能です。

加速電圧 最大15kV
リターディング電圧 最大10kV
厚み 5mm以下
  • 汎用SEM

    試料:二硫化タングステン 反射電子検出器加速電圧:1kV

  • ハイレゾ低加速モード

    試料:二硫化タングステン 反射電子検出器照射電圧:1kV(5kV-4kV)

汎用SEMよりも高分解能な観察が可能なモード
ボトムレンズモード

ボトムレンズにより、厚みが5mm以下の試料において、高分解能な観察が可能です。

ボトムレンズは従来あるセミインレンズを逆さにしたような構造です。試料の厚みが薄い(5mm程度)場合は、試料とレンズの距離が近いため、より強いレンズになります。よって、汎用SEMよりも高解像度な画像が得られます。

電圧 最大15kV
厚み 5mm以下
汎用SEM

試料:金粒子 汎用SEM 加速電圧 5kV 粒子径 30~500nm

ボトムレンズモード

試料:金粒子 ボトムレンズモード 加速電圧 5kV 粒子径 30~500nm

汎用SEMと同様のレンズを使用するモード
トップレンズモード

トップレンズモードでは汎用SEMと同様の観察が可能です。3nmの分解能を有しています。

汎用SEMと同様の観察を行うことが可能です。簡単な操作で低倍から10万倍程度の拡大像が得られ、加速30kVで3nm(WD=5mm)の分解能を有しています。

電圧 最大30kV
厚み 最大40mm
  • 試料:リチウムイオン電池の正極活物質 二次電子検出器 加速電圧 10kV

  • 試料:ワイヤーボンディング 反射電子検出器 加速電圧 15kV

絶縁物試料を無蒸着で観察するモード
低真空モード オプション

試料室内を低真空にすることで絶縁試料観察時に、帯電を抑制し無蒸着でそのまま観察することができます。
※オプション-LLV選択時

試料:星の砂 反射電子検出器
低真空モード+トップレンズモード 真空度:10Pa

試料:星の砂 反射電子検出器 通常観察のトップレンズモード

トップレンズによるEDS分析 オプション

トップレンズによるEDS分析では、汎用SEM同様、EDS観察位置に試料を移動させて分析を行います。磁性体試料や肉厚試料など、あらゆる試料の分析に適応しています。

EDSマッピング Au Mα線 倍率 20,000倍
試料:分解能測定用金粒子 加速電圧 10kV

ボトムレンズによるEDS分析 オプション

ボトムレンズモードのEDS分析の場合、WDは変更せずEDS検出器を分析最適位置まで移動させることにより、EDS分析を行います。これにより、汎用SEMよりも高い空間分解能での分析を行うことができます。また低加速電圧でのEDS分析も可能となりました。

EDSマッピング Au Mα線 倍率 20,000倍
試料:分解能測定用金粒子 加速電圧 10kV

撮影事例

ハイレゾ低加速モード(熱電子銃×低収差対物レンズ×リターディング法)

  • 試料:金粒子 反射電子検出器 照射電圧 500V(8kV-7.5kV)粒子径30~500nm
  • 試料:マイクロポーラスフィルム 反射電子検出器 照射電圧 1kV(7kV-6kV)
  • 試料:研磨材 反射電子検出器 照射電圧 3kV(8kV-5kV)

ボトムレンズモード(熱電子銃×低収差対物レンズ)

  • 試料:アルミナ粒子 二次電子検出器 加速電圧 4kV
  • 試料:アルミ電解コンデンサのアルミ箔 二次電子検出器 加速電圧 5kV
  • 試料:銀ペースト 二次電子検出器 加速電圧 5kV

Energy Dispersive X-ray Spectrometry(熱電子銃×EDS分析)

低収差対物レンズとEDS分析を組み合わせることで、試料の組成分析を従来よりも高い空間分解能で行うことができます。
試料:放熱グリス ボトムレンズモード 加速電圧:5kV

  • SEM像
  • レイヤーイメージ
  • Al Lα線
  • Zn Lα線
  • O Lα線
  • Si Lα線

試料:砥粒 反射電子検出器 ハイレゾ低加速モード 照射電圧 3kV(8kV-5kV)

▲低加速観察することにより、砥粒エッジの摩耗状態を透過することなく撮影できています。ハイレゾ低加速モードは反射電子検出器で撮影をするので、異物のコントラストは砥粒のコントラストと比較して、黒く観察されています。

試料:カーボンナノチューブ 二次電子検出器 ボトムレンズモード 加速電圧 5kV

EDS

低加速でEDS分析をすることにより、X線発生領域が小さくなり、高分解能でのEDS分析が可能です。
ボトムレンズと組み合わせることで、加速電圧:3kV~5kVでもEDS分析が可能です。

試料:黒鉱 ボトムレンズモード 加速電圧 3kV

SEM像

Zn Kα線

試料:黒鉱 ボトムレンズモード 加速電圧 15kV

SEM像

Zn Kα線

試料:樹脂中の充填剤(フィラー) 反射電子検出器 ボトムレンズモード
加速電圧 左:5kV 右:15kV

▲加速電圧:5kVでは表面近傍を、加速電圧:15kVでは内部情報を表しているSEM像です。フィラーの介在位置の確認や姿勢確認など、目的に応じて加速電圧を変えて撮影しました。

試料:金属破断面 二次電子検出器 トップレンズモード 加速電圧 5kV

試料:電子回路実装基板 反射電子検出器 トップレンズモード 加速電圧 10kV

▲上から、半田層・合金層・パターンのコントラストが出ています。電子部品の接合状態やマイクロクラックなどの評価も可能です。

試料:樹脂破断面 二次電子検出器 トップレンズモード 加速電圧 3kV

その他の撮影事例につきましては、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

ラインナップ

モデル お問い合わせ
PrecisionSEM5600 購入前 購入後

仕様

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

オプション

-LCB

SEMコントローラーボックス

調節可能項目 ガンアライメント、ブライトネス/コントラスト、フォーカス、スティグマ、イメージシフト、倍率

-LCS

チャンバースコープ

チャンバー内部の様子を確認するための光学カメラです。
試料とレンズ同士のチャンバー内部構造の位置関係をチェックすることができ、誤った操作での試料破損を防止します。

-LEDS

エネルギー分散型X線分析装置(EDS)

-LLV

低真空モード

絶縁物試料を無蒸着で観察するモード
真空度設定範囲:6~100Pa
検出器:反射電子検出器

SDSK

専用PC机

外形寸法

外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

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