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静電チャックの制御は「印加」から「監視」の時代へ。
プロセス効率と安全性を高める、次世代のスタンダード電源。
松定プレシジョンの新型静電チャック専用高圧電源は、単に高電圧を供給するだけでなく、ウェハの吸着状態をリアルタイムで監視・制御できる静電チャック(ESC)専用の高圧電源です 。
半導体製造プロセスにおいて、処理を終えた高付加価値なウェハを搬送ミスで破損させることは許されません 。
新型静電チャック専用高圧電源は、独自の「ウェハセンシング機能」により、静電容量の変化からウェハが確実に吸着されているか、あるいはデチャック（離脱）が完了しているかを正確に判別 。デチャック失敗によるウェハの破損リスクを劇的に軽減します 。
さらに、静電チャックの経年劣化に伴う微小な漏れ電流を監視することで、メンテナンス時期の予知が可能となり、突発的なライン停止を防ぎます 。EtherCAT通信への標準対応や、任意の波形生成機能も備え、スマートで高精度な製造ラインの構築に貢献します 。
特長
- ハーフラックサイズのコンパクト設計
- 極性反転機能によるスムーズなデチャックでスループットを向上
- ウェハのチャック状態をモニタリングできるウエハセンシング機能により確実なチャック/デチャックが可能
- アンプ構造を採用。“高速応答”かつ“極性切換時にメカニカルリレーを使用しない長寿命”を実現
- 「2出力(2ch)独立制御(オプション)」や「センタータップ出力(オプション)」で様々なチャック/デチャック条件に対応可能
仕様
詳しくはフォームよりお問い合わせください。
ダウンロード
ダウンロードできない場合の解決方法
ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。
- Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
- WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
- ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
- パソコンを再起動し、再度お試しください。
- 別のパソコンで、再度お試しください。
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静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2023/7/27 rev.14
PDF(5,281KB)
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高圧電源の正しい使い方
更新日：2025/09/08 Rev 07
PDF(1,270KB)
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