用途・事例

FABガンとは、Fast Atom Beamガンの略称で、半導体ウェーハの常温接合に使用される高速原子ビームの発生装置です。高速原子ビームは、従来のアルゴンイオンガンに比べてエネルギーが高く酸化膜を強力に除去できます。FABを使用した装置は、常温ウェーハ接合/表面活性化接合(SAB)装置と呼ばれています。

常温ウェーハ接合/表面活性化接合(SAB)装置については、こちら

関連ワード:
  • 半導体ウェーハ
  • 高速原子ビーム