用途・事例

ラングミュアプローブとは、プラズマの電子密度、電子温度、電位を測定するためのプローブです。
プラズマ中の電極に4象限のバイポーラ電源を接続し、正弦波や三角波の電圧を印加します。
掃引した電圧と電流を解析しプラズマの状態を知る方法が、ラングミュアプローブ法です。

プラズマの測定に必要なバイポーラ電源のスペックは、プラズマの電子温度や電子密度、電位によって変わります。
一般的には、電圧±100V、電流1~2A、周波数100Hz程度の4象限電源が使用されます。

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