ラングミュアプローブ

（掲載2022/02/18, 最終更新2024/04/09　T.N. ）

ラングミュアプローブ(Langmuir probe)とは、プラズマ診断に使用され、プラズマの電子密度、電子温度、電位を測定するプローブです。
プラズマ中の電極に４象限のバイポーラ電源を接続し、正弦波や三角波の電圧を印加します。
掃引した電圧と電流を解析しプラズマの状態を知る方法が、ラングミュアプローブ法です。

プラズマの測定に必要なバイポーラ電源のスペックは、プラズマの電子温度や電子密度、電位によって変わります。
一般的には、電圧±100V、電流1～2A、周波数100Hz程度の4象限電源が使用されます。中には、電圧±4000Vの高電圧アンプ（ HJOPSシリーズ）などが使われる場合もあります。

ラングミュアプローブは、トカマク(tokamak)式の核融合には必須で、バキュームベッセル（真空容器）内のEEDF計測（電子エネルギー分布関数 Electron energy distribution function)に使われます。

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