用途・事例

走査型電子顕微鏡(SEM : Scanning Electron Microscope)は電子顕微鏡の一種です。光よりも波長の短い電子を利用することで、可視光を利用した光学顕微鏡よりも、細かい画像を見ることができます。

走査型電子顕微鏡は、真空中で電子線を細く絞った電子ビームで試料を走査し、電子線を当てた座標の情報から像を構築して表示します。通常では、入射電子の影響を受けて対象物から放出された二次電子を利用して画像を取得します。走査型電子顕微鏡では、二次電子の画像のほかにも反射電子、透過電子、X線、カソードルミネッセンス、内部起電力等を検出し、試料の組成のデータなどさまざまな情報を分析します。

走査電子顕微鏡のうち透過電子を利用したものはSTEM(走査型透過電子顕微鏡)と呼ばれます。また走査電子顕微鏡では、鮮明な画像を得るために、試料ステージに負のバイアス電圧をかけるケースもあります。

松定プレシジョンには、走査型電子顕微鏡PrecisionSEM5600をはじめ、電子顕微鏡に使用する加速用高電圧電源やフィラメント用電源、バイアス用電源、レンズ用電源、検出器用電源など取りそろえています。

走査型電子顕微鏡(SEM)
関連ワード:
  • X線
  • 二次電子
  • 入射電子
  • バイアス
  • カソードルミネッセンス