X線光電子分光法（XPS）

X線光電子分光法（XPS）はElectron Spectroscopy for Chemical Analysis（ESCA）（エスカ）とも呼ばれ、試料最表面元素に対し、定量・定性分析や化学結合状態の分析ができる分析法です。この分析で検出できる深さは試料表面から数nmです。

超真空下でX線を試料に照射すると、試料表面から光電子が真空中に放出されます。これを光電効果といいます。試料を構成する元素や結合状態により、放出される光電子の運動エネルギーは異なります。そのためX線光電子分光法では、放出された光電子のエネルギーを計測し、分析します。

軟X線を用いるため、試料損傷が少ないのが特徴です。また、金属材料だけでなく高分子物質などに対しても表面化学分析ができます。応用技術としてスパッタエッチングによる深さ方向分析も可能です。ウェハ上に層状に成膜した薄膜の厚さを測定したり化学結合状態を分析したりできます。

松定プレシジョンでは、X線光電子分光でX線を発生させるためのX線管用電源を取りそろえています。X線管では、フィラメントを加熱して発生した熱電子に高い電圧を印加して加速させ、試料に照射させます。フィラメントの加熱用電源や、熱電子加速用の電源、またそれらを一体化した複合電源などがあります。

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