機器組込み型高圧電源｜セレクションチャート

機器組込み型高圧電源（モジュールタイプ高圧電源）のセレクションチャートページです。
機器組込み実装が可能な、コネクタやケーブル入出力タイプのDC-DC高電圧モジュール（一部にAC-DC高電圧モジュール有り）を紹介しています。
松定プレシジョンでは、50kVまでの汎用タイプ組込み型高圧電源モジュールや、質量分析（MASS）や電子顕微鏡（SEM）、電子ビーム・イオンビーム装置に最適な分析装置用の低リップル・高安定タイプの高圧電源モジュール、X線管用、PMT用の高圧電源モジュールをライナップしております。

汎用タイプ（ローパワータイプ）
汎用タイプ（ハイパワータイプ）
分析装置用低リップル・高安定タイプ
X線管電源用
フォトマル（PMT）ソケットタイプ
専用タイプ

汎用タイプ（ローパワータイプ）

シリーズ	HVR/HVL	HPMQ	HV	HPMR	HSR/HSL	HPSM	HQ/HC	HQR/HQL	HMAS	HP	HSEM
I/O比例			I/O比例入力電圧により出力電圧を制御可能（制御系が1つですみます。）				I/O比例入力電圧により出力電圧を制御可能（制御系が1つですみます。）			I/O比例入力電圧により出力電圧を制御可能（制御系が1つですみます。）
出力電力	1.5W	2W	2.5～3W	2.5～6W	3W	3W, 5W	6W	6W	7.5～10W	9～12.5W	10W
極性	片極性	片極性	片極性	片極性	片極性	片極性	片極性	片極性	片極性	片極性	片極性
0.1kV	0.1kV
0.2kV	0.2kV
0.3kV	0.3kV	0.3kV	0.3kV		0.3kV		0.3kV
0.5kV				0.5kV					0.5kV
0.6kV	0.6kV	0.6kV	0.6kV		0.6kV		0.6kV	0.6kV		0.6kV
1kV		1kV		1kV		1kV			1kV	1kV
1.1kV	1.1kV		1.1kV		1.1kV		1.1kV	1.1kV		1.1kV
1.5kV	1.5kV	1.5kV	1.5kV	1.5kV	1.5kV	1.5kV	1.5kV	1.5kV		1.5kV
2kV	2kV	2kV	2kV	2kV	2kV	2kV	2kV	2kV		2kV
2.5kV									2.5kV
3kV	3kV		3kV	3kV	3kV	3kV	3kV	3kV		3kV
5kV	5kV			5kV	5kV	5kV		5kV	5kV		5kV
6kV	6kV		6kV		6kV		6kV	6kV		6kV	6kV
10kV	10kV		10kV		10kV		10kV	10kV	10kV	10kV	10kV
12kV	12kV				12kV			12kV
15kV			15kV		15kV		15kV	15kV	15kV	15kV
20kV					20kV			20kV	20kV
25kV			25kV		25kV		25kV	25kV		25kV
30kV					30kV			30kV	30kV
特長	高安定	高安定		高安定	高安定			高安定	高安定		高安定
		超低リップル	低リップル	超低リップル		超低リップル	低リップル		低リップル	低リップル	超低リップル
	アナログ制御				アナログ制御			アナログ制御
用途	MASS	MASS	MASS	MASS	MASS		MASS	MASS	MASS	MASS	MASS
		電子顕微鏡	電子顕微鏡			電子顕微鏡	電子顕微鏡		電子顕微鏡	電子顕微鏡	電子顕微鏡
	PMT/MCP	PMT/MCP	PMT/MCP	PMT/MCP	PMT/MCP	PMT/MCP	PMT/MCP	PMT/MCP		PMT/MCP	PMT/MCP
	電子ビーム	電子ビーム	電子ビーム	電子ビーム	電子ビーム	電子ビーム描画装置	電子ビーム	電子ビーム	電子ビーム	電子ビーム	電子ビーム
	イオンビーム	イオンビーム	イオンビーム	イオンビーム	イオンビーム		イオンビーム	イオンビーム	イオンビーム	イオンビーム	イオンビーム
	放射線計測	放射線計測	放射線計測	放射線計測	放射線計測		放射線計測	放射線計測		放射線計測
	静電チャック (E-chuck)				静電チャック (E-chuck)	静電チャック (E-chuck)	静電チャック (E-chuck)	静電チャック (E-chuck)			静電チャック (E-chuck)

リップル	0.005%～0.05%(p-p)	1mV(p-p)(最小)	0.05%～0.15% (p-p)	2mV(p-p)(最小)	0.005%～0.05%(p-p)	1.5mV(p-p)	0.05%～0.2% (p-p)	0.008%～0.05%(p-p)	10mV(p-p)(最小)	0.08%(p-p)	0.001%(p-p)
シリーズ	HVR/HVL	HPMQ	HV	HPMR	HSR/HSL	HPSM	HQ/HC	HQR/HQL	HMAS	HP	HSEM

汎用タイプ（ハイパワータイプ）

シリーズ	HFSS	HFR/HGR	HPR/HPL	HWR/HWL	HUNS	HGP	HUNA
出力電力	5W, 10W, 30W	5～60W	15W	30W	115～350W	125W, 250W	0.15～1.2kW
極性	片極性	片極性	片極性	片極性	片極性	片極性	片極性
0.3kV		0.3kV				0.3kV
0.5kV					0.5kV
0.6kV		0.6kV	0.6kV	0.6kV		0.6kV
1kV	1kV	1kV			1kV	1kV	1kV
1.1kV			1.1kV	1.1kV
1.5kV	1.5kV	1.5kV	1.5kV	1.5kV	1.5kV	1.5kV
2kV			2kV	2kV
3kV	3kV	3kV	3kV	3kV	3kV	3kV	3kV
4kV		4kV
5kV			5kV	5kV	5kV		5kV
6kV	6kV	6kV	6kV	6kV		6kV
10kV	10kV	10kV	10kV	10kV	10kV	10kV	10kV
12kV			12kV	12kV
15kV	15kV	15kV	15kV	15kV		15kV
20kV	20kV	20kV	20kV	20kV	20kV	20kV	20kV
25kV		25kV	25kV	25kV		25kV
30kV		30kV	30kV	30kV	30kV	30kV	30kV
33kV					33kV
35kV					35kV
40kV		40kV			40kV		40kV
50kV							50kV
特長	高安定	高安定	高安定	高安定		高安定
	アナログ制御	アナログ制御	アナログ制御	アナログ制御	デジタル制御	アナログ制御	デジタル制御
	※信頼性重視設計アーク放電、連続出力短絡保護による信頼性重視設計	※信頼性重視設計アーク放電、連続出力短絡保護による信頼性重視設計			※信頼性重視設計アーク放電、連続出力短絡保護による信頼性重視設計アーク放電、連続出力短絡保護による信頼性重視設計	※信頼性重視設計アーク放電、連続出力短絡保護による信頼性重視設計	※信頼性重視設計アーク放電、連続出力短絡保護による信頼性重視設計
用途	PMT/MCP	PMT/MCP	PMT/MCP	PMT/MCP
	電子ビーム	電子ビーム	電子ビーム	電子ビーム		電子ビーム
	イオンビーム	イオンビーム	イオンビーム	イオンビーム
		放射線計測	放射線計測	放射線計測
					コンデンサ充電	コンデンサ充電	コンデンサ充電
		MASS	MASS	MASS
		静電チャック (E-chuck)	静電チャック (E-chuck)	静電チャック (E-chuck)
					ATE（自動検査装置）		ATE（自動検査装置）
					電気泳動		電気泳動
					X線装置		X線装置
						耐圧試験
リップル	10ppm(p-p)	0.001%～0.08% (p-p)	0.01%～0.5%(p-p)	0.03%～0.5%(p-p)	0.2%～0.5% p-p	1.0V(p-p)未満	0.2%rms
シリーズ	HFSS	HFR/HGR	HPR/HPL	HWR/HWL	HUNS	HGP	HUNA

※１アーク放電、連続出力短絡保護による信頼性重視設計

分析装置用低リップル・高安定タイプ

シリーズ	HMAS-FR	HMBR-R(3W)	HMBR	HMASS-R	HMASS	HMBR-R(12W)
出力電力	1～2W	3W	7W	7.5～10W	7.5～12W	12W
極性	両極性	両極性	片極性	両極性	片極性	両極性
1kV		±1kV
2kV		±2kV
3kV				±3kV	3kV
5kV		±5kV		±5kV	5kV
10kV	±10kV	±10kV	10kV	±10kV	10kV	±10kV
15kV			15kV			±15kV
20kV			20kV	±20kV	20kV	±20kV
30kV			30kV	±30kV	30kV	±30kV
特長		高安定度 10ppm/5min	高安定度 0.001％/5min	高安定度 10ppm/Hr	高安定度 10ppm/H	高安定度 10ppm/5min
特長	TTL（外部信号により出力極性を切替え可能）	TTL（外部信号により出力極性を切替え可能）		TTL（外部信号により出力極性を切替え可能）		TTL（外部信号により出力極性を切替え可能）
用途	質量分析（MASS）	質量分析（MASS）	質量分析（MASS）	質量分析（MASS）	質量分析（MASS）	質量分析（MASS）
	電子顕微鏡	電子顕微鏡	電子顕微鏡	電子顕微鏡	電子顕微鏡	電子顕微鏡
	電子ビーム	電子ビーム	電子ビーム		電子ビーム	電子ビーム
	イオンビーム	イオンビーム	イオンビーム		イオンビーム	イオンビーム
		電気泳動	電気泳動			電気泳動
リップル	500mV(p-p)	10mV(p-p)	100～300mV(p-p)	15mV(p-p)	2～50mV(p-p)	70mV(p-p)
シリーズ	HMAS-FR	HMBR-R(3W)	HMBR	HMASS-R	HMASS	HMBR-R(12W)

X線管電源用

シリーズ	HXRR	HXRT	HXR	XPgM/XKgM
出力電力	50W	100W	50～100W	300～600W
30kV			30kV
50kV	50kV	50kV	50kV	50kV
60kV			60kV	60kV
65kV			65kV
70kV				70kV
特長	陰極設置型X線管用	陰極設置型X線管用	陰極設置型X線管用	陰極設置型X線管用・陽極設置型X線管用
	可変型フィラメント出力	可変型フィラメント出力	可変型フィラメント出力
	過電圧、負荷短絡保護	過電圧、負荷短絡保護	過電圧、負荷短絡保護
	低管電圧時のフィラメント保護	低管電圧時のフィラメント保護
	インターロック	インターロック	インターロック	インターロック
用途	調整可能なビーム		調整可能なビーム
	バイアス出力、フィラメント出力		バイアス出力、フィラメント出力
		X線管の寿命を延ばす		X線非破壊検査
リップル	0.05%(p-p)	0.05%(p-p)	0.2%(p-p)	0.07%rms(1kHz未満)未満 0.7%rms(1kHz以上)未満

フォトマル（PMT）ソケットタイプ

シリーズ	HPMS-1N	HPMS-1N-L2B
出力電力	20mW	20mW
-1kV	-1kV	-1kV
特長	コンパクトで簡単な操作	コンパクトで簡単な操作
	外部電圧制御により制御されるHV出力	外部電圧制御により制御されるHV出力
	HV電源と分圧器を内蔵したソケット	HV電源と分圧器を内蔵したソケット
用途	φ28mm(1-1/8in.)サイドオン型PMT対応	φ28mm(1-1/8in.)サイドオン型PMT対応
リップル	アノードリップルが1mVp-p @-1000V 負荷20kΩ	アノードリップルが1mVp-p @-1000V 負荷20kΩ

専用タイプ

シリーズ	HSUR	HMB	HCZ	MF	MDCF	MDC
用途	電子写真プロセス、プリンタ等の実験・研究	走査型電子顕微鏡（SEM）用電源	キャピラリー電気泳動専用	質量分析装置(TOFMS)の検出器用高圧電源	フローティングフィラメント電源（電子銃やSEM、MASS）	フローティング電力供給
特長	定電流タイプ	高安定度、低リップル	高信頼設計・保護回路	最大30kVフローティング可能	30kVの高絶縁耐圧	15kVの高絶縁耐圧
出力電力	0.1～6W	9W	9W	4W	37.5W	12～48W
極性	片極性	片極性	両極性	片極性	片極性	片極性
7.5 V					7.5V
24 V						24V
1kV
1.5kV	1.5kV
3kV	3kV
4kV				4kV
6kV	6kV
10kV	10kV
15kV		-15kV
20kV
30kV		-30kV	±30kV

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