用途・事例

電子顕微鏡とは、対象物に電子(電子線)をあてて観察する顕微鏡です。通常の顕微鏡(光学顕微鏡)では、観察したい対象に光(可視光線)をあてて、その反射光を拡大して対象を観察しますが、電子顕微鏡では光の代わりに対象物に電子を利用します。
電子線は可視光に比べて波形が非常に短いため、高い分解能をもちます。可視光では「差」として捉えられなかった段差などを検出できるためです。そのため工学顕微鏡では観察ができなかった、非常に小さなものの観察が可能になります。
電子顕微鏡は、用途や目的によって多くの種類がありますが、大きく「透過電子顕微鏡(TEM)」と「走査電子顕微鏡(SEM)」の2種類に分けられます。

透過電子顕微鏡は試料に電子線をあて、透過した電子を拡大して観察します。また、透過電子顕微鏡では、電子線に電圧をかけ、加速させて対象物を透過させます。そのため、電子線が透過できるような、薄い材料でなければ観察をすることができません。

走査電子顕微鏡は、真空中で細く絞った電子線を試料表面に当て、対象が発する電子を信号として受け取ります。試料表面の凹凸画像だけでなく、試料の組成のデータも同時に得ることができます。
なお、電子顕微鏡では電子線を作るための高性能な電源が必要になります。
松定プレシジョンでは、電子顕微鏡に使える高性能な電源を製造・販売しています。

電子ビームリソグラフィ参考図
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