エアシャワーとは、人体や服などに付着している塵埃を取り除くボックス状の空間です。クリーンルームの入り口に設置され、側面などから勢いよく空気を出すことで、コンタミの元になる微粒子を吹き飛ばして除去します。また、2重扉構造により、入退室に伴うクリーン度の低下も防ぎます。クリーンブースへの物品の出し入れするパスボックスとしても利用することが出来ます。 関連コラム パーティクルカウンター（微粒子計測器）入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程（後工程） クリーンベンチとは（基礎知識）
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