イエロールーム/イエローブースとは、半導体のフォトリソグラフィー工程などで、紫外線の感光を防ぐために周囲を紫外線カットフィルターで覆った部屋やブースのことです。 関連ワード クリーン暗室 陰圧 陽圧 関連コラム パーティクルカウンター（微粒子計測器）入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程（後工程） クリーンベンチとは（基礎知識）
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