ULPAとは、Ultra Low Penetration Air Filterの略で、HEPAフィルタよりも捕集効果の高いエアフィルタです。JIS Z 8122にて捕集効果などが規定されています。 関連ワード ファンフィルターユニット プレフィルタ HEPA 関連コラム パーティクルカウンター(微粒子計測器)入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程(後工程) クリーンベンチとは(基礎知識)