クリーンルームやクリーンブースのクラス(清浄度)とは、クリーン環境内における浮遊微粒子のサイズと量を分類した等級です。規格によりその分類や等級の表し方は異なります。 詳しくは、空気清浄度(クリーン度)の項目をご参照下さい。 関連ワード 空気清浄度(クリーン度) 関連コラム パーティクルカウンター(微粒子計測器)入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程(後工程) クリーンベンチとは(基礎知識)