ファンフィルターユニット｜クリーンルーム/クリーンブースの用語集

ファンフィルターユニット（FFU）とは、クリーンユニットとも呼ばれる空気清浄機の一種で、クリーンルームやクリーンブース、クリーンベンチに清浄（クリーン）な空気を供給する装置のことです。
ファンフィルターユニットは、プレフィルター、HEPAフィルターなどのメインフィルター、ファンユニットで構成されています。プレフィルタやメインフィルタは定期的な掃除や交換が必要になります。
ファンユニットは、ACファンと低消費電力のDCファンがあります。風量によりさまざまな大きさのFFUが販売されています。