0120-747-636
電子線用多出力高圧電源
特長
- 超低リップル、超高安定度、最大4ch、フローティング可。さらに電源を追加した特注対応可。
- 低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃も可）
- フローティング電源：それぞれ 外部コントロール、電圧・電流モニタ付
- グラウンド電源：外部コントロール、電圧・電流モニタ付
- RS-232Cでのデジタル制御可能 (LAN、USB、RS-485、GPIBの対応も可能)
- -160kVまでの加速電圧対応可能
- カスタムオプション対応可能
- 160kVまでさまざまな電圧にも対応可能
用途
- 走査電子顕微鏡(SEM)
- 測長SEM(CD-SEM)
- 電子ビーム描画装置
- オージェ電子分光装置
- 電子銃
- マイクロフォーカスX線
ラインナップ
| モデル | Ch. Name | Reference level | 出力 | お問い合わせ | |
|---|---|---|---|---|---|
| 電圧 | 電流 | ||||
| HEBシリーズ | filament | Acceralator | +2V,+5V,+6V,+8V | 3A,5A | 購入前 購入後 |
| suppressor | -300V,-600V,-1kV -2kV |
50µA,100µA | |||
| extractor | -10kV,+5kV,+6.5kV +7kV,+10kV |
500µA,700µA,750μA 1mA,3mA, |
|||
| Focus | +2kV,+5kV,+7kV,+10kV | 50μA,100μA,500μA 1000μA |
|||
| Acceralator | Ground Level | -10kV,-15kV,-30kV -40kV,-50kV,-60kV |
100μA,250μA,300μA 500μA,700μA,750μA |
||
| Focus | +30kV | 50μA | |||
| Grid | -10kV | 50μA | |||
仕様
仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
オプション
- -LFC
フィラメント(ch1)をセンターコモンにします。
ダウンロード
ダウンロードできない場合の解決方法
ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。
- Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
- WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
- ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
- パソコンを再起動し、再度お試しください。
- 別のパソコンで、再度お試しください。
-
HEBシリーズカタログ
更新日：2023/7/28 rev.09
PDF(1,207KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2023/07/27 Rev.06
PDF(871KB)
-
高性能高圧電源総合ガイド
更新日：2023/10/6 rev.20
PDF(4,258KB)
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高圧電源の正しい使い方
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高性能高圧電源総合ガイド
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