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RX7000

エネルギー分散型
蛍光X線分析装置

真空中での測定にも対応可能なエネルギー分散型蛍光X線分析装置

さらなる高感度を求めて、真空中での測定を可能にしたエネルギー分散型蛍光X線分析装置RX7000が誕生しました。クラス最大容量の大型試料室を備えるほか、16試料の自動交換ターレットを標準装備。加えて従来比4倍以上の検出素子面積を持つ検出器やX線管の性能をフルに引き出す自社製の新型高圧電源を搭載することで、さらなる高性能化を達成しました。
RoHS/ELV指令への対策をはじめ、様々な要求に迅速に対応できる蛍光X線分析装置です。

特長・概要

  • 使いやすさにこだわったワンクリックオペレーション。
  • 真空雰囲気下では軽元素のかつてない高感度測定を実現。
  • 検出素子面積の拡大やSi(Li)検出器と同等の分解能により微量元素成分の定量や元素の識別が容易。
  • 新開発の専用高圧電源を搭載して軽元素の測定では最大2倍のX線出力が可能。
  • RoHSフィルタにより測定時間が1/3に短縮。

進化した蛍光X線分析装置

検出器の性能が大幅に向上

  1. 検出器の面積を広げて高感度化を実現
  2. 分解能が向上したことで微量元素成分の定量や判別の難しかった元素の識別が可能
  3. 検出回路の高計数率化により設定時間の短縮を実現
  4. 窓材に特殊素材を新たに採用し、酸素(O)やフッ素(F)等の超軽元素も検出可能に
蛍光X線分析装置RX7000銅合金のスペクトル検出のイメージ図

ラインナップ

モデル名 管電圧[kV] 試料形状[W×D×H] 検出器 お問い合わせ
RX7000 50 ※詳細はお問い合わせください 高性能半導体検出器
(電子冷却方式)
購入前 購入後

仕様

クラス最大容量の大型真空試料室(370φ×150mm)を標準装備

大型真空試料室

A4サイズのサンプルもそのまま測定することができます。これだけの大きさでも、排気時間はおよそ「100秒」。ユーザにストレスを与えない大型真空試料室を実現しました。

16試料自動交換ターレット

16試料自動交換ターレットの標準装備により、試料交換時に真空排気による時間のロスは一切ありません。真空を保持したまま複数の試料を一度に測定することが可能です。

蛍光X線分析装置RX7000・クラス最大容量の大型真空試料室画像

機能

「分かりやすい」ソフトウェア-RX analyzer-

Point1:シンプルな画面構成

RX7000による蛍光X線分析で最低限必要な操作は、試料をセットして、測定すること。RX analyzerは「試料をセットする画面」と「測定する画面」の2つだけで基本的な操作が完了し、分析結果が得られます。

ソフトウェアRX analyzerの測定画面
ソフトウェアRX analyzerの測定画面

Point2:操作手順をナビゲート

初めて操作されるかたにも、分かりやすく各操作手順をナビゲート。ボタンも大きく、直感的な操作感を実現しました。

ソフトウェアRX analyzeが操作1つ1つをナビゲートしている
ソフトウェアRX analyzeが操作1つ1つをナビゲートしている

Point3:ターレットをフル活用

16ものターレットを持つRX7000だからこそ、複数試料の測定にこだわりを。装置とリンクした画面になっているので、位置合わせもラクラク。

大きなカメラ画像があるRX analyzerのターレット

Point4:欲しい結果を探しやすく

測定頻度が高いと結果を探すのにも手間がかかりがちですが、測定結果一覧から結果の一部を表示させることで、探す手間を大幅に減らせます。

RX analyzer測定結果の一部を表示している画面

Point5:必要な操作は1クリックで

「レポート出力」「再測定」等、結果から想定される次の操作をボタン化しているので1クリックで次の操作を行うことができます。

RX analyzer再設定や一覧表などのアイコン表示画面

むずかしいことはソフトにお任せ- 測定条件自動選択機能 -

RX analyzerなら、試料によって異なる最適な測定条件を自動で選択するのでユーザー判断に依らない安定した測定が可能です。測定条件をいちいち設定する煩わしさもありません。

従来では…

従来はユーザー判断に委ねられていた

測定条件自動選択機能

測定実行クリックだけの測定条件自動選択機能

様々な分析を可能にする多彩な機能

形状補正機能

同じ含有量の試料でも、形状や厚みが異なる場合、得られる定量値に差が生じる場合があります。付属のソフトウェアRX analyzerはこの差を自動で補正するため、試料の形状を気にせず、精度の良い結果が得られます。

形状補正機能有無による検出濃度の違いのグラフ
形状補正機能有無による検出濃度の違いを表したグラフ

波形分離機能

As-Kαの線とPb-Lα線のように測定対象の分析線がエネルギー的に重なる場合があります。重なった元素をそれぞれ精度良く定量するためには、1つのピークから各元素のピークを分離しなければなりません。RX analyzerは独自の手法により、各ピークを自動で分離し、高精度の測定が可能です。

エネルギーとスペクトル強度の波形分離機能画像

薄膜分析にも対応

薄膜FP法により、多層薄膜における各層の膜厚・組成を算出します。(オプション)

スペクトルマッチング機能

構成元素と含有率があらかじめわかっている試料の測定スペクトルを保存しておき、未知試料のスペクトルと比較させ、どの試料に最も近いかを判定する機能です。

活用事例

SUS等の鋼種判別

SUS304とSUS316などを判別できます。

不純物混入などの合否判定

良品とされたスペクトルを保存することで、そのスペクトルの比較から合否を判定できます。

レポート出力機能

測定結果・測定条件をレポートして出力することができます。必要な情報を網羅し、汎用性の高いフォーマットになっています。

RX7000レポート出力機能

オプション

ノート型パソコン

デスクトップ型パソコンからノート型パソコンへ変更できます。

ノート型パソコンイメージ写真

※写真はイメージです。

専用デスク

装置のサイズに合わせた専用デスク。

専用デスク

多層薄膜FP

ソフトウェアのオプションです。
薄膜の膜厚測定ができます。

多層薄膜FPイメージ写真

※写真はイメージです。

標準物質

検量線作成や、比較測定に利用できる各種標準物質を取り扱っています。

標準物質

サンプルカップ

微小サンプルや粉末、液体試料などの測定に使用します。
用途により各種形状を取り揃えております。
使用に際しては、マイラー™フィルムも必要になります。

蛍光X線分析装置サンプルカップ

マイラー™フィルム

サンプルカップと共に使用します。
ロール式やカット済みなどをご用意しております。

※マイラー™は、デュポン社の登録商標です。

マイラーフィルム

※お客様のご要望に応じて、検量線や測定条件の追加に柔軟に対応致します。

準備設置前

本装置は設置にあたり、所轄の労働基準監督署へ設置届を提出することが義務付けられています。 (官公庁、大学に設置する場合は人事院への届出が必要となります。)

安心納入時

松定プレシジョンでは、納入時に法令で定められた「特別の教育」を行っています。

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