0120-747-636
単出力・ハンディ型 バイポーラタイプ高圧電源
HJCシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。
DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。
±1kV～±5kVまで幅広いラインナップによりジョンソン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。
特長
- ハーフラックタイプで省スペースに貢献
- アンプ構造による高速応答
- リレーを使用しない高信頼・長寿命
- 静電チャック専用設計
- アンプ構造による高速応答（極性反転時間 100ms…無負荷）
- 両極性出力
- RFフィルタ内蔵可能（オプション）
- リレーを使わないので高信頼、長寿命
ラインナップ
| モデル名 | 出力 | お問い合わせ | |
|---|---|---|---|
| 電圧[kV] | 電流[mA] | ||
| HJC-1B6 | -1kV～+1kV | 6mA | 購入前 購入後 |
| HJC-1B30 | 30mA | 購入前 購入後 | |
| HJC-2B3 | -2kV～+2kV | 3mA | 購入前 購入後 |
| HJC-2B15 | 15mA | 購入前 購入後 | |
| HJC-3B2 | -3kV～+3kV | 2mA | 購入前 購入後 |
| HJC-3B10 | 10mA | 購入前 購入後 | |
| HJC-4B1.5 | -4kV～+4kV | 1.5mA | 購入前 購入後 |
| HJC-4B7.5 | 7.5mA | 購入前 購入後 | |
| HJC-5B1.2 | -5kV～+5kV | 1.2mA | 購入前 購入後 |
| HJC-5B6 | 6mA | 購入前 購入後 | |
仕様
一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
使用波形例
オプション
- -LB
-
保護カバー
パワースイッチ、HVスイッチに保護カバーがつきます。
- -LPo
-
極性切替
ローカル：トグルスイッチ
リモート：接点入力
- -LRf（500k）
-
RFフィルタ
500kHz
- -LRf（13.56M）
-
RFフィルタ
13.56MHz
- -LRy
-
出力リレー
外部信号により電源と負荷を電気的に切り離します。
- -L（7m）
-
出力高圧ケーブル
7m長 1本
- RFフィルタの周波数は広い範囲で対応可能です。ご相談ください。
- -LRf(500k)と-LRf(13.56M)は同時に選択することはできません。
- -LRyオプション（出力リレー）と-LRfオプション（RFフィルタ）を同時に装着することはできません。
- 片極タイプも製作可能です。
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。アルファベット、ケーブル長順） 〈例〉HJC-1B6-LBPoRf（13.56M）Ry（7m）
別売品
| 【標準添付】 | CABLE TYPE1 |  |
 |
125 V / 10 A | 2.5 m 固定長 |
|---|
※200V入力でご使用の際はCABLE TYPE3を別途ご購入ください。
| 【標準添付】 1kV～5kVモデル |
CN-BNC-HVPP(5)※ |
 両端MHV |
5m長 長さ指定可能 |
|---|
※標準は“(5)”、-L(7m)選択時は“(7)”になります。
外形・寸法
外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
![静電チャック専用高圧電源カタログ]()
-
静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2023/7/27 rev.14
PDF(5,281KB)
![高圧電源の正しい使い方]()
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2023/07/27 Rev.06
PDF(871KB)
![HJCシリーズ取扱説明書]()
-
HJCシリーズ取扱説明書
PDF(541KB)
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-
静電チャック専用高圧電源カタログ
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-
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-
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