• HJCシリーズ
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HJCシリーズ

静電チャック用高圧電源

  • ±1kV~±5kV
  • 6W, 30W

単出力・ハンディ型 バイポーラタイプ高圧電源

HJCシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。±1kV ~ ±5kVまで幅広いラインナップによりジャンセン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

特長・概要

  • 静電チャック専用設計
  • 出力電子切替で高速応答も可能(極性反転時間 100ms…無負荷)
  • 両極性出力
  • RFフィルタ内蔵可能(オプション)
  • リレーを使わないので高信頼、長寿命

ラインナップ

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧[kV] 電流[mA] リップル[%ms]
HJC-1B6 ±1 6 0.1 購入前 購入後
HJC-1B30 30 0.1 購入前 購入後
HJC-2B3 ±2 3 0.1 購入前 購入後
HJC-2B15 15 0.1 購入前 購入後
HJC-3B2 ±3 2 0.1 購入前 購入後
HJC-3B10 10 0.1 購入前 購入後
HJC-4B1.5 ±4 1.5 0.1 購入前 購入後
HJC-4B7.5 7.5 0.1 購入前 購入後
HJC-5B1.2 ±5 1.2 0.1 購入前 購入後
HJC-5B6 6 0.1 購入前 購入後

使用波形例

高圧電源HJCシリーズ・使用波形例

オプション

-LRy

出力リレー 外部信号により電源と負荷を電気的に切り離します。

-LRf(13.56M)

RFフィルタ 13.56MHz

-LRf(500K)

RFフィルタ 500kHz

-LPo

極性切替 ローカル : トグルスイッチ
リモート : 接点入力

-LB

保護カバー パワースイッチ、HVスイッチに保護カバーがつきます。

-L(7m)

出力高圧ケーブル 7m長 1本

  • -LRyオプション(出力リレー)と-LRfオプション(RFフィルタ)を同時に装着することはできません。
  • RFフィルタの周波数は広い範囲で対応可能です。ご相談ください。
  • 片極タイプも製作可能です。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけて下さい。

〈例〉HJC-1B6-LBPoRf(13.56M)Ry(7m)
         (アルファベット、ケーブル長順)

ケーブル

入力 ※1

CABLE TYPE 1

100V入力・3Pプラグ付 (標準添付)

  • CABLE TYPE 8
  • CABLE TYPE 8

出力

CN-BNC-HVPP(5) ※2

1kV~5kVモデル 両端HV-BNC (標準添付)

  • CN-BNC-HVPP(5)
  1. 200V入力でご使用の際はCABLE TYPE3を別途ご購入ください。
  2. 標準は”5”、-L(7m)選択時は”7”になります。

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