• HJCシリーズ|静電チャック専用高圧電源 ベンチトップ|松定プレシジョン
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HJCシリーズ

静電チャック用高圧電源

  • ±1kV~±5kV
  • 6W、30W

単出力・ハンディ型 バイポーラタイプ高圧電源

HJCシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。±1kV~±5kVまで幅広いラインナップによりジャンセン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

概要

  • 静電チャック専用設計
  • 出力電子切替で高速応答も可能(極性反転時間 100ms…無負荷)
  • 両極性出力
  • RFフィルタ内蔵可能(オプション)
  • リレーを使わないので高信頼、長寿命

ラインナップ

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧[kV] 電流[mA]
HJC-1B6 -1~+1 6 購入前 購入後
HJC-1B30 30 購入前 購入後
HJC-2B3 -2~+2 3 購入前 購入後
HJC-2B15 15 購入前 購入後
HJC-3B2 -3~+3 2 購入前 購入後
HJC-3B10 10 購入前 購入後
HJC-4B1.5 -4~+4 1.5 購入前 購入後
HJC-4B7.5 7.5 購入前 購入後
HJC-5B1.2 -5~+5 1.2 購入前 購入後
HJC-5B6 6 購入前 購入後

仕様

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

使用波形例

高圧電源HJCシリーズ・使用波形例

入力 ※1

CABLE TYPE 1

100V入力・3Pプラグ付 (標準添付)

  • CABLE TYPE 8
  • CABLE TYPE 8

出力

CN-BNC-HVPP(5) ※2

1kV~5kVモデル 両端HV-BNC (標準添付)

  • CN-BNC-HVPP(5)
  1. 200V入力でご使用の際はCABLE TYPE3を別途ご購入ください。
  2. 標準は”(5)”、-L(7m)選択時は”(7)”になります。

オプション

-LB

保護カバー 

パワースイッチ、HVスイッチに保護カバーがつきます。

-LPo

極性切替 

ローカル : トグルスイッチ
リモート : 接点入力

-LRf(13.56M)

RFフィルタ 

13.56MHz

-LRy

出力リレー 

外部信号により電源と負荷を電気的に切り離します。

-LRf(500k)

RFフィルタ 

500kHz

-L(7m)

出力高圧ケーブル

7m長 1本

  • -LRyオプション(出力リレー)と-LRfオプション(RFフィルタ)を同時に装着することはできません。
  • RFフィルタの周波数は広い範囲で対応可能です。ご相談ください。
  • 片極タイプも製作可能です。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。

〈例〉HJC-1B6-LBPoRf(13.56M)Ry(7m)
         (アルファベット、ケーブル長順)

外形寸法

外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

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