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用途・事例

導入のヒント

クリーン化の広がり

クリーン化のニーズはあらゆる業界で広がり続けています。製品の歩留まりを改善し、品質の向上を図るための対策としてはもちろんのこと、お客様へ与える安心感、信頼感を得るためにといったニーズが増えているためです。また、従来は、クリーン化といえばクリーンルームを設けるという考え方が一般的で したが、最近では局所クリーン化という技術が開発され普及しつつあります。
局所クリーン化とは、清浄度の必要な場所だけを囲ってクリーン化することです。この技術によりイニシャルコストやランニングコストを大幅に削減することができます。局所クリーン化技術によって、よりクリーン度の高い環境が低コストで実現できるようになり、今まで導入されていなかった業界にもクリーン化の拡大が続いています。

クリーン度に関する各種規格

クリーン度を表すのにクラス100とかクラス1000などの表現が使われます。
これは米国のFED-STD-209Dという規格で定めた清浄度の表現を使用しています。
ちなみにこの規格は2001年11月に廃止されているのですが、未だにこの規格の表現を使用するのが一般的となっているようです。
クリーン度を表すのには各国に様々な規格があるようです。主な規格には以下のようなものがあります。

日本 JIS B9920
アメリカ FED-STD-209D
国際規格 ISO14644-1

規格とクリーン度の比較

FED-STD-209D JIS B9920 ISO14644-1
クラス 100 クラス 5 クラス 5
クラス 1,000 クラス 6 クラス 6
クラス 10,000 クラス 7 クラス 7
クラス 100,000 クラス 8 クラス 8

※比較表の横の列はクリーン度が同じであることを表します。(多少の差異があります)

求められるクリーン度(業種別)

業種や工程によって求められるクリーン度も様々です。以下は一例です。

分野 製品 クリーン度(FED-STD-209D)
半導体 半導体(前工程) クラス 1 - 100
半導体(後工程) クラス 1,000 - 100,000
電子機器 磁気ディスク クラス 10 - 10,000
液晶、PDP クラス 1 - 10,000
光学 レンズ クラス 10 - 10,000
フィルム クラス 100 - 10,000
精密機器 時計、カメラ クラス 100 - 100,000
食品 食品加工 クラス 100 - 100,000
医薬品 医薬品 クラス 10 - 100,000
印刷 精密印刷 クラス 10,000 - 100,000
樹脂成型 樹脂成型 クラス 1,000 - 1,000,000
電子部品 ハイブリッドIC クラス 1,000 - 10,000
電子部品 クラス 100 - 10,000
プリント基板 クラス 10,000 - 1,000,000
基板実装 クラス 100,000 - 1,000,000
一般オフィス クラス 100,000 - 1,000,000

クリーン度と換気回数

クリーンブース(乱流式)のクリーン度は、換気回数によって設定しています。
換気回数とは、1時間に何回クリーンブース内の空気が入替るかという事です。

クリーン度(FED-STD-209D) ISO規格 JIS規格 松定プレシジョン
クラス1,000 70 - 160 30 - 90 100 - 130
クラス10,000 30 - 70 20 - 40 50 - 75
クラス100,000 10 - 20 10 - 20 20 - 30

クリーン度と浮遊粒子

クリーンルーム内に浮かんでいるほこりなどの大きさと数がどの位なのかは規格ごとに規定されています。
ISOの規格では、以下の表の様に規定されています。

ISO清浄度クラスと最大許容粒子濃度 (個/㎥)
清浄度 粒径
0.1µm 0.2µm 0.3µm 0.5µm 1µm 5µm
1クラス 10 2
2クラス 100 24 10
3クラス 1,000 237 102 35
4クラス 10,000 2,370 1,020 352 83
5クラス 100,000 23,700 10,200 3,520 832
6クラス 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
7クラス 352,000 83,200 2,930
8クラス 3,520,000 832,000 29,300
9クラス 35,200,000 8,320,000 293,000

気流方式

クリーンブースでは一般的に乱流式という方式になります。

乱流式

乱流式|クリーンブース|松定プレシジョン

層流式

乱流式|クリーンブース|松定プレシジョン

松定プレシジョンのクリーンブースの特長

  • クリーンルームと同等のクラス100・クラス1000に対応可能
  • 強度・美観・軽量を兼ね備えたアルミフレームを使用
  • 専用マニュアル付で2~5名で短時間での組立てが可能
  • 豊富なラインナップで様々なレイアウトに対応
  • オーダーメイドも可能、100mm単位で指定できる
  • 豊富なオプションをご用意、用途に応じて選択できる
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