X線検出器

エネルギー分散型X線分光法 (EDS/EDX)

現代のエネルギー分散型システムでは、主にシリコンドリフト検出器 (SDD) やPINフォトダイオードが利用されています。従来は、半導体検出器とも呼ばれるリチウムドリフトシリコン [Si(Li)] 検出器が標準的でしたが、現在は優れたエネルギー分解能、高い計数率、および小型な形状を持つSDDにほぼ置き換わっています。Si(Li) 検出器とは異なり、SDDはペルチェ（熱電）冷却を利用するため、液体窒素が不要となり、メンテナンスフリーでの運用が可能です。

X線検出器の主なメーカーは以下の通りです：

• Amptek (https://www.amptek.com/)
• KETEK (https://www.ketek.net/)
• PN Detector (https://pndetector.de/)
• RAYSPEC (https://www.rayspec.co.uk/)
• MOXTEK (https://moxtek.com/)

波長分散型X線分光法 (WDS)

波長分散型分析装置では、通常、分光結晶（モノクロメータ）によって分光されたX線を検出するために比例計数管が用いられます。これらのシステムでは、安定したゲインと検出効率を維持するために、精密な高電圧バイアス制御が求められます。

• ガンマ線モニタリングなどのより広範な放射線検出アプリケーションについては、用途事例「放射線検出」ページをご参照ください。