用途・事例

X線分析装置には、蛍光X線分析装置(XRF)や、X線回折装置(XRD)の他、XAFS、XPS(ESCA)、SAXS、EPMAなどの種類があります。
蛍光X線分析装置(XRF)には、エネルギー分散型X線分析(EDX)と波長分散型X線分析(WDX)があり、試料にX線を照射し、試料を構成する元素や含有量を調べるために使われます。元素によって跳ね返す蛍光X線の波長は異なるため、試料にX線を照射すると、さまざまな波長(エネルギー)をもつ蛍光X線が返ってきます。
波長分散型X線分析では、波長が異なるX線によって回折角度が変わるため、分光結晶に当てると波長ごとに分解されます。そこで可視光をプリズムで分光させるのと同じ要領で、試料から跳ね返ってきた蛍光X線を分光結晶に入射させて分光し、各波長のX線の強さを検出器で測定します。
エネルギー分散型X線分析では、蛍光X線を半導体検出器で受け、信号を波形処理し各波長のX線強度を測定しています。
どちらにも共通して、X線管を使用し、熱電子発生用フィラメント電源と、X線の加速電圧用の電源装置が必要です。

X線を発生させる方法には、陽極接地型や陰極接地型 などさまざまな種類があります。XRFは陰極接地型X線管、XRDは陽極接地型X線が多く使用されています。
分析用のX線は、透過検査(レントゲン)と異なり、あまり透過力を必要としません。そのため電圧は60kVまでですが、光量(明るさ)を必要とする場合があります。その際には数kWのX線管が使われ、X線管が加熱しすぎないように水冷されています。
また、装置に組み込まれている検出器にも数百V~数kV程度の電源装置が必要となる場合があります。

松定プレシジョンでは、X線管用電源、X線発生ユニット、検出器用電源の全てを取り扱っています。

X線分析装置 XRF/WDXの原理
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