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用途・事例

電子ビーム

（掲載：, ）

電子ビームとは、真空中で高速に加速された電子の流れのことです。一般的に、加熱されたフィラメント（カソード）などの電子源から、熱電子放出によって電子が生成されます。そこに高電圧電源を用いてカソードとアノードの間に強力な電界を形成することで、電子をターゲットに向かって加速させます。顕微鏡、リソグラフィ、溶接などのアプリケーションにおいて、安定したビームを得るためには、この加速電圧を精密に制御することが極めて重要です。

主な用途：

松定プレシジョンの高電圧電源を採用した学術論文

SPring-8 放射光施設における、天文学および高電荷イオンの分光実験への応用のための小型電子ビームイオン捕捉装置（EBIT）の開発

使用製品：高電圧アンプ (HJOPS-2B10)

関連ワード:
  • 電子ビームイオン捕捉装置 (EBIT)
  • 静電ビーム偏向
  • 静電偏向（イオンビームステアリングを含む）
  • 静電レンズ

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