HMBシリーズ

走査電子顕微鏡(SEM)用高圧電源

Accelerator:
0 to -15kV or -30kV
Suppressor:
0 to -300V (option)
Extractor:
0 to +3.5kV
Filament:
0 to 15W

コンパクトな筐体に4つの電源を内臓

電子銃の性能を最大限に引き出す専用設計！

HMBシリーズは、走査電子顕微鏡の電子銃用に特別に設計された高圧電源です。電子ビーム加速用高圧電源と、フローティングのエクストラクタ、サプレッサ、フィラメント電源を内蔵しています。タングステンのヘアピン型電子源やLab6、Ceb6といったSEMだけでなく、高分解能のショットキーエミッション型の熱電界放出型電子銃のSEMにも対応できます。
CD-SEMやレビューSEMといった半導体のウエハ検査用のFE-SEMにも利用可能です。お客様の電子銃構成に合わせたカスタマイズやOEMなどのご相談も承ります。
お気軽にご相談ください。

特長

低リップルノイズと5ppmの高安定出力
組み込みに適したコンパクトな筐体
高性能電源によるSEM画像の画質と解像度の向上
過電流保護や出力短絡保護などの安全機能
低リップル
お客様の電子銃構成に合わせたカスタマイズ可能

用途

走査型電子顕微鏡(SEM)の電子銃用電源
電界放出型電子銃（FEG)電源
ショットキーエミッションの高分解能SEM
ウエハやマスク検査用CD-SEMやレビューSEM
電子線マイクロアナライザ（EPMA）用電源
オージェ電子分光用電子銃電源

ラインナップ

モデル	出力電圧			お問い合わせ
モデル	加速電源	バイアス電源	フィラメント電源	お問い合わせ
HMB-15	0～-15kV	0～+3.5kV	5V max	購入前購入後
HMB-30	0～-30kV	0～+3.5kV	5V max	購入前購入後

仕様

入力電圧: 24Vdc ±5%
出力制御: 外部制御電圧 (Vcon-in) 0 to 10Vdc

仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

オプション

-LFcc: 定電流フィラメント出力
仕様は、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
※-LFcvと-LFccを同時に選択することはできません。

-LFcv: 定電圧フィラメント出力
仕様は、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
※-LFcvと-LFccを同時に選択することはできません。

-LS03: サプレッサ電源追加

ご発注方法

ご発注時は、型名の後にオプション記号をつけてください。2つ以上のオプションを追加する場合は、
２つ目以降のオプション記号“-L”を除外してアルファベット順に付け加えて下さい。
〈例〉HMB-15-LFcc, HMB-30-LFcvS03

別売品

出力ケーブル

標準	CN-HMB4P	プラグ付出力ケーブル(端末オープン)	1.5m長
-LS03オプション時	CN-HMB4P-S03	プラグ付出力ケーブル(端末オープン)	1.5m長