据置ハイパワー
横照射型
X線マイクロビュー顕微鏡

[µRay8700/μRay8760]

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μRay8700/μRay8760は、小型から大型まで幅広い対象物に対応するマイクロCTスキャン装置です。130kV、40Wの高出力マイクロフォーカスX線により、低ノイズの高精細画像と高い分解能の3D画像を提供します。

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関連製品

アルミダイカスト

電解コンデンサ

130kVの高出力Ｘ線管と高解像度カメラで鮮明な透過画像を実現

管電圧130kVの圧倒的な高透過力と最大40Wのハイパワーで、今まで見えなかった不具合までもが鮮明に見えてくる。μRay8700/8760が、新しい透過観察を実現します。

管電圧130kVの高透過力と最大40Wのハイパワーがもたらす鮮明な画像がワンランク上の透過観察を実現。独自のノイズリダクション技術と、4W出力時に最小5μmの焦点サイズを実現しました。マイクロフォーカスX線管が驚異の低ノイズ・高コントラストを達成。μRay8700/8760シリーズは、これらの高画質化技術と多彩な機能を誇る専用ソフトウェア、洗練された高い操作性によって、高品質の非破壊検査を実現します。

X線横照射型でワーク縦断面の透過検査が簡単！

Ｘ軸（左右）、Ｙ軸（手前奥）、Ｚ軸（上下）に加えて回転軸（ターン）も備えているのでワーク全体をくまなく観察できます。

円筒形のワークでもステージの上に載せて360度回転させれば簡単に観察できます。

左右、手前奥、上下にもステージは動きますので見たいところを逃しません。

大空間を備えた直径100mmのステージと試料固定台を組み合わせて、様々な高さのワークに対応することができます。

天井も開閉できる扉が付いているので、縦長のワークや重いワーク(10kg)でも楽にステージへ載せることができます。

* µRay8760には天井の扉は付属しておりません。
* 耐久支持荷重10kgはオプションです。

液体や粉末の入った試料もターンテーブルに置くだけ

必要な機能が「誰でも」「すぐに」使える簡単操作

付属の専用ソフト「μRayVision」は、簡単な操作でステージやＸ線の制御ができるだけでなく、多彩な画像処理機能や計測機能も備えています。

ペットボトルのキャップ

管電圧: 90kV　出力: 13.5W　モニタ像倍率: 6.7倍

横照射型のメリット

横照射型は試料を立てた状態でX線・CT撮影を行います。試料を回転させる際、重力により回転軸がブレることが無いため、CT撮影に適した照射方法と言えます。

必要な機能が「誰でも」「すぐに」使える簡単操作 [専用ソフトウェア（付属）]

簡単な操作でステージやＸ線の制御ができるだけでなく、多彩な画像処理機能や計測機能も備えています。

新開発 X線画像処理機能s-HDR搭載

従来よりも広いダイナミックレンジのX線画像を表現できるようになりました。明るすぎて白飛びしていた部分や暗くて濃淡のわかりにくかった部分がより見やすく表示されます。最適な画質のX線画像で観察できます。

BGA

ワイヤーボンディング

明るさ調整

ゲイン値、トーンカーブを調整することでX線画像の明るさを調整できます。

コントラスト調整

ガンマ値、輝度レンジを調整することでX線画像のコントラストを調整できます。

ROI機能（関心領域）

見たい領域を適切な明るさに自動調整して、確認できます。例えばX線画像の一部領域のみが識別しにくいため強調したい、といったご要望に対応できます。手動による微妙なコントラスト調整も可能です。

寸法測定

撮影画像に計測線を引くことにより、撮影画像内の寸法を測定することができます。

面積測定

階調の違いにより、面積を測定することができます。これにより、決まった形状の試料の比較が簡単になります。BGAなどの試料の場合、大きさの違いや、穴数、穴面積、面積比率などを測定できます。

類似カラー

撮影画像に計測線を引くことにより、撮影画像内の寸法を測定することができます。

二値化

不良個所を見極めやすいようにするための機能です。設定した閾値で画像を白黒の2色で表示することができます。

輝度指定カラー

不良個所を見極めやすいようにするための機能です。この機能は不良個所を16384階調から範囲指定し、色をつけて目立たせることが可能です。不良品を判断するのに最適な機能です。

ティーチング

あらかじめ設定した撮影ポイントに自動でステージ移動・撮影する機能です。従来は作業者がステージ移動・撮影をしていましたが、この機能により1clickで複数の指定箇所の撮影が可能になります。また、撮影ポイントごとにX線出力値や拡大率などを個別に設定することができるため、あらゆる検査対象に適応できます。

ステップ（自動送り）機能

ステップ（自動送り）機能とは、ステージを任意のピッチで順次移動させて撮影する機能です。開始位置とＸ軸Ｙ軸それぞれの移動ピッチ、移動回数を設定するだけで、パレットに載ったすべてのサンプルを検査することができます。

管電圧130kVの透過力

金属や厚みのあるワークの観察も対応可能

角型リチウムイオン電池の検査

モバイル機器や電動工具、小型モビリティ等に搭載される角型リチウムイオン電池は、高エネルギー密度であるがゆえに極めて高い安全性が求められます。
産業用CTは、セル単体からBMS（バッテリーマネジメントシステム）を搭載したモジュール製品まで、内部品質を包括的に保証します。
角型リチウムイオンセル検査（極板積層と溶接品質）：セル内部の正極・負極シートの積層ズレや、ショート防止に不可欠なオーバーハング（極板のはみ出し幅）を高精度に計測します。また、集電タブと極板の溶接部の溶け込み不足やブローホール、内部に混入した金属異物などを検出し、発火事故のリスクを未然に防ぎます。

X線画像

CT解析

CT解析：切断面

CT画像：任意断面

X線画像

アルミニウムダイカストのす(巣)の検査

アルミニウムダイカスト製品は、自動車部品や電子機器筐体など、高い強度と軽量化、さらに精密性が求められる分野で広く用いられています。しかし、製造過程でガス巻き込みや凝固収縮により微細な空隙（す：巣）が発生することがあります。これらの「す」は、製品の強度を著しく低下させたり、内容物の漏洩につながるため、その正確な検出と評価が極めて重要です。

CTの優位性：従来の平面X線検査では、深さ方向の情報が失われますが、産業用CTスキャナを使用することで、ダイカスト内部の巣を高解像度の3Dデータとして取得できます。

検査結果の活用：巣の位置、サイズ、分布を定量的に評価できるため、鋳造条件の最適化や欠陥許容基準の設定に役立てることができます。

CT解析