HEBシリーズ

走査電子顕微鏡(SEM)、
電子ビーム用電源

超低リップル・多出力を1台に集約した電子線用高圧電源

超低リップル
超高安定度
加速電圧
-10kV～-60kV
各チャンネルを個別に選択可能

電子線用多出力高圧電源

走査電子顕微鏡(SEM)や電子ビーム描画装置など、最先端のアプリケーションでは、電子ビームの品質が性能を大きく左右します。
HEBシリーズは、その要求に応えるために開発された日本製の多出力高圧電源です。最大の特長である「超低リップル・超高安定度」設計により、ノイズを極限まで抑制し、鮮明で高解像度の画像取得や高精度なビーム制御を可能にします。加速電圧に加え、フィラメント、サプレッサ、エクストラクタ、フォーカスなど、電子銃の駆動に必要な複数の電源を、洗練されたデザインのコンパクトな筐体に集約。各チャンネルは個別にお選びいただけるため、お客様の仕様に合わせた最適な構成をご提供できます。出力チャンネルの追加により、低加速を実現するリターディング電源の内蔵も可能です。これにより、システム構築の簡素化と省スペース化に大きく貢献します。
光リンクによるデジタル制御や各種保護機能も標準搭載し、高度な制御と安全な運用をサポート。松定プレシジョンが誇る高品質と信頼性で、お客様の研究開発や装置の性能向上を強力にバックアップします。

特長

超低リップル、超高安定度、最大4ch、フローティング可。さらに電源を追加した特注対応可。
低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃も可）
フローティング電源：それぞれ外部コントロール、電圧・電流モニタ付
グラウンド電源：外部コントロール、電圧・電流モニタ付
光ファイバーによる安全なリモート制御が可能
-160kVまでの加速電圧対応可能
カスタムオプション対応可能
160kVまでさまざまな電圧にも対応可能

用途

走査電子顕微鏡(SEM)
測長SEM(CD-SEM)
電子ビーム描画装置
オージェ電子分光装置
電子銃
マイクロフォーカスX線

ラインナップ

モデル	Ch. Name	Reference level	出力		お問い合わせ
モデル	Ch. Name	Reference level	電圧	電流	お問い合わせ
HEBシリーズ	filament	Acceralator	+2V,+5V,+6V,+8V	3A,5A	購入前購入後
	suppressor		-300V,-600V,-1kV -2kV	50µA,100µA
	extractor		-10kV,+5kV,+6.5kV +7kV,+10kV	500µA,700µA,750μA 1mA,3mA,
	Focus		+2kV,+5kV,+7kV,+10kV	50μA,100μA,500μA 1000μA
	Acceralator	Ground Level	-10kV,-15kV,-30kV -40kV,-50kV,-60kV	100μA,250μA,300μA 500μA,700μA,750μA
	Focus		+30kV	50μA
	Grid		-10kV	50μA