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イオンビーム用電源

加速電圧 +10kV～+60kV、
各チャンネルを個別に選択可能

  • 出力電圧：60kV
  • 出力電流：5A
  • 多チャンネル出力

イオンビーム用多出力高圧電源

特長

  • イオン銃の加速、フィラメント、サプレッサ、エクストラクタ、レンズ用電源を一体化
  • イオン銃に合わせて、各電極の電源を選択可能
  • 超低リップル、超高安定度、最大4ch、フローティング可
  • 低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃も可）
  • フローティング電源：それぞれ外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • グラウンド電源：1ch外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • さらに電源を追加した特注対応可
  • RS-232C、RS-485、GPIB、USBコントロール可
  • 加速電源は最大100kVまで対応可能（特注対応にて）
  • グランド電源のチャンネル追加可能（特注対応にて）
  • ラインナップにない電源の組み合わせなど特注対応可能

用途

ラインナップ

モデル名 Ch.Name Reference level 出力電圧 出力電流 お問い合わせ
HIB series Filament Accelerator Level +2V, +5V, +6V, +8V 3A, 5A 購入前 購入後
Suppressor -300V, -600V, -1kV, -2kV 50µA, 100µA
Extractor -10kV, -12kV, -15kV 500µA
Lens1 +15kV, +10kV, +5kV,
-5kV, -10kV, -15kV		 50µA
Accelerator Ground Level +10kV, +15kV, +30kV,
+40kV, +50kV, +60kV		 100µA, 250µA, 300µA,
500µA, 700µA, 750µA
Lens2 -30kV, +30kV 50µA
Lens3 -30kV, +30kV 50µA

利用されるイオンビームに合わせて電圧をお選びください。

仕様

仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

オプション

-LFC
フィラメント(ch1)をセンターコモンにします。

外形・寸法

外形・寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

ダウンロード

ダウンロードできない場合の解決方法

ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。

  1. Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
  2. WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
  3. ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
  4. パソコンを再起動し、再度お試しください。
  5. 別のパソコンで、再度お試しください。

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