HIBシリーズ｜イオンビーム用高圧電源

イオンビーム用高圧電源

超低リップル・高安定度

出力電圧：60kV
出力電流：5A
多チャンネル出力

イオンビーム用超低リップル・高安定度のオールインワン高圧電源

HIBシリーズは、集束イオンビーム（FIB）をはじめとする、高性能イオンビーム専用に設計された、高性能・マルチチャンネル（多出力）の高圧電源です。イオンビームカラムに必要な加速、フィラメント、サプレッサ、エクストラクタ、レンズといった複数の電源を、コンパクトな筐体に集約しました。これにより、システム全体のセットアップを簡素化し、高電圧配線の引き回しを最小限に抑えることで、ノイズの影響を低減し安定したシステム構築に貢献します。松定プレシジョンの超低リップル・高安定技術により、出力に含まれるリップルノイズを極限まで低減し、優れた安定性を両立させています。これにより、イオンビームの精密な制御を可能にし、これまで困難だったレベルでの高分解能観察や精密加工の実現をサポートします。最大加速電圧60kVのプラットフォームを基盤に、お客様固有のイオン源やイオンビームカラムの要求仕様に対し、各チャンネルを柔軟に構成できる高いカスタマイズ性も確保しています。部品選定から製造プロセスまで一切の妥協を排した「Made in Japan」の品質で、お客様の装置の価値をさらに高めます。

特長

イオン銃の加速、フィラメント、サプレッサ、エクストラクタ、レンズ用電源を一体化
イオン銃に合わせて、各電極の電源を選択可能
超低リップル、超高安定度、最大4ch、フローティング可
低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃も可）
フローティング電源：それぞれ外部コントロール、電圧・電流モニタ付
グラウンド電源：1ch外部コントロール、電圧・電流モニタ付
さらに電源を追加した特注対応可
光ファイバーによる安全なリモート制御が可能
加速電源は最大100kVまで対応可能（特注対応にて）
グランド電源のチャンネル追加可能（特注対応にて）
ラインナップにない電源の組み合わせなど特注対応可能

用途

ラインナップ

モデル名	Ch.Name	Reference level	出力電圧	出力電流	お問い合わせ
HIB series	Filament	Accelerator Level	+2V, +5V, +6V, +8V	3A, 5A	購入前購入後
	Suppressor		-300V, -600V, -1kV, -2kV	50µA, 100µA
	Extractor		-10kV, -12kV, -15kV	500µA
	Lens1		+15kV, +10kV, +5kV, -5kV, -10kV, -15kV	50µA
	Accelerator	Ground Level	+10kV, +15kV, +30kV, +40kV, +50kV, +60kV	100µA, 250µA, 300µA, 500µA, 700µA, 750µA
	Lens2		-30kV, +30kV	50µA
	Lens3		-30kV, +30kV	50µA