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HIBシリーズ

イオンビーム用電源

加速電圧 +10kV～+60kV、各チャンネルを個別に選択可能

イオンビーム用多出力高圧電源

特長

  • 超低リップル、超高安定度、フローティング可
  • 低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃も可）
  • フローティング電源：それぞれ
    外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • グランド電源：1ch
    外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • さらに電源を追加した特注対応可
  • RS-232C、485、422、GPIB、USBコントロール可
  • 100kVまでさまざまな電圧可

用途

  • 集束イオンビーム装置（FIB）
  • イオン注入
  • イオン銃

ラインナップ

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HIBシリーズ 購入前 購入後

オプション

-LFC

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