イオンビーム用多出力高圧電源
特長
- 超低リップル、超高安定度、フローティング可
- 低い温度係数(25ppm/℃、10ppm/℃も可)
- フローティング電源:それぞれ
外部コントロール、電圧・電流モニタ付 - グランド電源:1ch
外部コントロール、電圧・電流モニタ付 - さらに電源を追加した特注対応可
- RS-232C、485、422、GPIB、USBコントロール可
- 100kVまでさまざまな電圧可
用途
- 集束イオンビーム装置(FIB)
- イオン注入
- イオン銃
ラインナップ
モデル名 | お問い合わせ |
---|---|
HIBシリーズ | 購入前 購入後 |
オプション
-LFC
フィラメント(ch1)をセンターコモンにします。
ダウンロード
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HIBシリーズカタログ
更新日:2020/5/25 rev01
PDF(394KB)
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高性能高圧電源総合ガイド
更新日:2021/10/14 rev16
PDF(4,205KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日:2022/04/05 rev05
PDF(851KB)
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