用途・事例

表面分析とは、固体の表面を分析しその物質の表面形状や物性、化学結合、界面の情報、反応の状況などを調べることです。
一般的に分析装置は、光源の光を分析対象物に当てて、分析対象物から出てくる光を分析し、その物性などを調べます。

表面分析には、電子を検出するもの、X線を検出するもの、光を検出するもの、イオンを検出するもの、プローブで走査するものがあります。

表面分析で電子を検出するものは、以下の方法や装置があります。

表面分析でX線を検出するものは、以下の方法や装置があります。

表面分析で光を検出するものは、以下の方法や装置があります。

  • 赤外分光法(IR:Infrared Spectroscopy)
  • フーリエ変換赤外分光法(FTIR:Fourier Transform Infrared Spectroscopy)
  • カソードルミネッセンス(CL:Cathode Luminescence)
  • フォトルミネセンス(PL:Photo Luminescence)

表面分析でイオンを検出するものは、以下の方法や装置があります。

  • 二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)
  • グロー放電質量分析(GDMS:Glow Discharge Mass Spectrometry)
  • ラザフォード後方散乱分光法(RBS:Rutherford Backscattering Spectrometry)
  • 弾性反跳原子検出分析(ERDA:Eiastic Recoil Detection Analysis)
  • 核反応法 (NRA:Nuclear Reaction Analysis)
  • 電界イオン顕微鏡(FIM:Field Ion Microscope)

表面分析でプローブを走査するものは、以下の方法や装置があります。

  • 走査型トンネル顕微鏡(STM:Scanning Tunnelling Microscope)
  • 原子間力顕微鏡(AFM:Atornic Force Microscope)
  • 電界放射顕微鏡(FEM: Field Emission Electron Microscope)
  • 摩擦力顕微鏡(FFM:Friction Force Microscope)
  • 磁気力顕微鏡(MFM:Magnetic Force Microscope)
  • 走査型マクスウェル応力顕微鏡(SMM:Scanning Maxwell Stress Microscope)