HERRシリーズ

ラックマウント型
高性能高圧電源

驚異の超低ノイズと圧倒的な高安定度を実現

出力電圧：1～150kV
出力電流：0.2～30mA
出力電力：15～120W
ロングセラー

150kV出力モデルで最小1.5Vという超低ノイズを実現したハイパフォーマンス高圧電源

HERRシリーズは、1kV～150kVまでの幅広い出力電圧帯で豊富なラインナップを備えたラックマウント型高性能高圧電源です。
150kVの高電圧出力時のリップルがわずか1.5Vrmsという驚異的な超低ノイズを実現していますので、リリース以来、基準電源としても使用できるほどの低ノイズと高安定度により世界中のお客様から高い評価を頂いています。
また、当社の電源技術の粋を集めた独自の高信頼設計に加えて万全の保護機能を備え、いつでも安心してお使い頂ける高い安全性と信頼性を誇っています。さらに、各種のリモートコントロール機能やモニタ機能も標準装備し、本体に-LGオプションを選択するとLANやUSB、RS-232C、RS-485、GPIB用のコントロールアダプタを追加することで、PCによる制御も可能です。

概要

圧倒的な低ノイズ: 独自の発振回路でスパイクノイズをきわめて低いレベルに抑制。

豊富な機能: 出力ON/OFFや出力電圧の設定・制御といった各種リモート機能、出力電圧・電流値モニタ出力、インターロックなど、高性能を簡単に使いこなせる多彩な機能を装備。

群を抜く操作性: 出力電圧を素早く正確に設定できる粗調・微調の2つのポテンショメータや視認性に優れた大型LEDメータなどが簡単・正確な操作を実現。

用途

電子顕微鏡
電子ビーム
絶縁耐圧試験
標準電源
X線装置
リソグラフィ
静電気放電試験（ESD）

電子部品評価試験
電子銃
走査電子顕微鏡（SEM）
質量分析（Mass Spectrometry: MS）
イオンビーム
各種高圧試験など

ラインナップ

正極性出力モデル負極性出力モデル両極性タイプ

モデル	最大出力			お問い合わせ
モデル	電圧	電流	電力	お問い合わせ
HERR-1P15	1kV	15mA	15W	購入前購入後
HERR-1P30	1kV	30mA	30W	購入前購入後
HERR-3P10	3kV	10mA	30W	購入前購入後
HERR-3P20	3kV	20mA	60W	購入前購入後
HERR-5P6	5kV	6mA	30W	購入前購入後
HERR-5P12	5kV	12mA	60W	購入前購入後
HERR-10P3	10kV	3mA	30W	購入前購入後
HERR-10P6	10kV	6mA	60W	購入前購入後
HERR-20P1.5	20kV	1.5mA	30W	購入前購入後
HERR-20P3	20kV	3mA	60W	購入前購入後
HERR-30P1	30kV	1mA	30W	購入前購入後
HERR-30P2	30kV	2mA	60W	購入前購入後
HERR-40P0.75	40kV	0.75mA	30W	購入前購入後
HERR-40P1.5	40kV	1.5mA	60W	購入前購入後
HERR-50P0.5	50kV	0.5mA	25W	購入前購入後
HERR-50P1	50kV	1mA	50W	購入前購入後
HERR-60P0.5	60kV	0.5mA	30W	購入前購入後
HERR-60P1	60kV	1mA	60W	購入前購入後
HERR-80P0.3	80kV	0.3mA	24W	購入前購入後
HERR-80P0.75	80kV	0.75mA	60W	購入前購入後
HERR-100P0.3	100kV	0.3mA	30W	購入前購入後
HERR-120P0.25	120kV	0.25mA	30W	購入前購入後
HERR-120P1	120kV	1mA	120W	購入前購入後
HERR-150P0.2	150kV	0.2mA	30W	購入前購入後

モデル	最大出力			お問い合わせ
モデル	電圧	電流	電力	お問い合わせ
HERR-1N15	-1kV	15mA	15W	購入前購入後
HERR-1N30	-1kV	30mA	30W	購入前購入後
HERR-3N10	-3kV	10mA	30W	購入前購入後
HERR-3N20	-3kV	20mA	60W	購入前購入後
HERR-5N6	-5kV	6mA	30W	購入前購入後
HERR-5N12	-5kV	12mA	60W	購入前購入後
HERR-10N3	-10kV	3mA	30W	購入前購入後
HERR-10N6	-10kV	6mA	60W	購入前購入後
HERR-20N1.5	-20kV	1.5mA	30W	購入前購入後
HERR-20N3	-20kV	3mA	60W	購入前購入後
HERR-30N1	-30kV	1mA	30W	購入前購入後
HERR-30N2	-30kV	2mA	60W	購入前購入後
HERR-40N0.75	-40kV	0.75mA	30W	購入前購入後
HERR-40N1.5	-40kV	1.5mA	60W	購入前購入後
HERR-50N0.5	-50kV	0.5mA	25W	購入前購入後
HERR-50N1	-50kV	1mA	50W	購入前購入後
HERR-60N0.5	-60kV	0.5mA	30W	購入前購入後
HERR-60N1	-60kV	1mA	60W	購入前購入後
HERR-80N0.3	-80kV	0.3mA	24W	購入前購入後
HERR-80N0.75	-80kV	0.75mA	60W	購入前購入後
HERR-100N0.3	-100kV	0.3mA	30W	購入前購入後
HERR-120N0.25	-120kV	0.25mA	30W	購入前購入後
HERR-120N1	-120kV	1mA	120W	購入前購入後
HERR-150N0.2	-150kV	0.2mA	30W	購入前購入後

モデル	最大出力			お問い合わせ
モデル	電圧	電流	電力	お問い合わせ
HERR-1R15	1kV/-1kV	15mA	15W	購入前購入後
HERR-1R30	1kV/-1kV	30mA	30W	購入前購入後
HERR-3R10	3kV/-3kV	10mA	30W	購入前購入後
HERR-3R20	3kV/-3kV	20mA	60W	購入前購入後
HERR-5R6	5kV/-5kV	6mA	30W	購入前購入後
HERR-5R12	5kV/-5kV	12mA	60W	購入前購入後
HERR-10R3	10kV/-10kV	3mA	30W	購入前購入後
HERR-10R6	10kV/-10kV	6mA	60W	購入前購入後
HERR-20R1.5	20kV/-20kV	1.5mA	30W	購入前購入後
HERR-20R3	20kV/-20kV	3mA	60W	購入前購入後
HERR-30R1	30kV/-30kV	1mA	30W	購入前購入後
HERR-30R2	30kV/-30kV	2mA	60W	購入前購入後
HERR-40R0.75	40kV/-40kV	0.75mA	30W	購入前購入後
HERR-40R1.5	40kV/-40kV	1.5mA	60W	購入前購入後
HERR-50R0.5	50kV/-50kV	0.5mA	25W	購入前購入後
HERR-50R1	50kV/-50kV	1mA	50W	購入前購入後
HERR-60R0.5	60kV/-60kV	0.5mA	30W	購入前購入後
HERR-60R1	60kV/-60kV	1mA	60W	購入前購入後

極性切り替えは内部コネクタ差替方式となります。

機能

出力時は①→⑤の順で、終了時は⑤→①の順で操作して下さい。

POWER ON/OFFスイッチ：全ての操作に優先します。
高電圧ON/OFFスイッチ
ONで動作可能です。高電圧スイッチONの状態でのみリモート出力がON/OFFできます。また、インターロック、カットオフのリセットもこのスイッチで操作します。
COARSE(粗調)ポテンショメータ(10回転ロック付)
FINE(微調)ポテンショメータ(10回転ロック付)
CURR(出力電流)設定ツマミ：1回転　保護機能動作時LED点灯
GROUND端子　M6
ACインレット
ヒューズ
高電圧出力コネクタ（松定プレシジョン製）
出力電圧モニタ
出力電流モニタ
デジタル通信アダプタ接続用コネクタ、切替スイッチ(オプション)

リモート端子　M4

リモート出力ON/OFF制御※

シンク電流　10mA以上必要

インターロック

シンク電流　10mA以上必要

出力制御※

外部リレーショートまたはVCE0.4V以下の状態で出力可能です。オープンまたは2V以上になると出力が遮断されます。再度ショートまたは0.4V以下の状態でHVスイッチをOFFしてリセットした後、HVスイッチONで再出力します。

-LGオプション選択時には⑫の切替スイッチがIEEE-488側の時、リモート端子ではリモート出力ON/OFF制御と出力制御は機能せず、IEEE-488のみの制御になります。

出力モニタ（⑩出力電圧モニタ⑪出力電流モニタ）　BNCリセプタクル ※

Vout：0～±10V（0～＋10V）
リモートスイッチがON/OFFできます。標準…モニタの極性は高電圧出力と同じ-LGオプション時…高電圧出力の極性にかかわらず正極性
Iout：0～＋10V
共に出力imp 1KΩ

※ -LGオプション時
⑫の切替スイッチにかかわらず常に出力します。

仕様

入力電圧: 100Vac ±10％ 50Hz/60Hz 単相
出力電圧制御: [ローカル] 前面パネルCOARSE（粗調）およびFINE（粗調の10％）の2つの10回転ポテンショメータによる [アナログリモート] 外部コントロール電圧0～10Vdc(入力インピーダンスは10kΩ以上)または外部可変抵抗5kΩ
[デジタルリモート] GP-HV アダプタ（別売品）

仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

オプション

-LC: カレントリミット
電圧垂下特性により出力電流を制限します。
出力電流は前面パネル1回転ツマミにより10％～105％まで可変できます。

-LG: USB、LAN、RS-232C、RS-485、GPIBアダプタ接続用コネクタ
(アダプタとしてGP-HVが必要です。)

-LN: 出力自動復帰
(旧：停電保護なし)
ACのON/OFFで高電圧出力をON/OFFすることができます。

-LW: スロースタート
高電圧スイッチ、リモート出力ON/OFF制御のONより約10秒にて設定電圧まで立上がります。
出力電圧制御がローカル時のみ機能します。リモート時はスロースタートにはなりません。

-L(200V): 200Vac±10％　単相入力

-L(230V): 198Vac～253Vac　単相入力

-L(3m): 高電圧出力シールドケーブルの長さが3mになります。

-L(5m): 高電圧出力シールドケーブルの長さが5mになります。（出力電圧40kV以下のモデルのみ）

-L(7m): 高電圧出力シールドケーブルの長さが7mになります。（出力電圧10kV以下のモデルのみ）

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。
〈例〉HERR-60P1-LCGNW（200V）(3m)
（アルファベット、数字、入力電圧、ケーブル長順につけてください。）

別売品

デジタル通信アダプタ: LANやUSBなどによるリモート制御は、別途デジタル通信アダプタにて対応可能です。各種デジタルインターフェースによるリモート制御を行う場合は、別途アナログ電源用デジタルアダプタ(GP-HV)と、各インターフェースによる光アイソレーションアダプタが必要です。; 接続イメージ図

LANの場合

ET-32とGP-HV（GP-RJケーブル付き）を一緒にご注文下さい。

USBの場合

USB-OPTとGP-HV（GP-RJケーブル付き）を一緒にご注文下さい。

RS-232C、RS-485の場合

GP-OPT2-25、GP-OPT2-9、GP-OPT4-25いずれかとGP-HV（GP-RJケーブル付き）を一緒にご注文下さい。

GPIBの場合

GP-32とGP-HV（GP-RJケーブル付き）を一緒にご注文下さい。

詳しくは、GP/ET/USBシリーズのアナログ電源用デジタルアダプタ(GP-HV)と、光アイソレーションアダプタをご確認ください。

入力ケーブル

【標準添付】	CABLE TYPE1	125 V / 10 A	2.5 m 固定長
【標準添付】オプション-L(200V)、 -L(230V)選択時	CABLE TYPE3	250 V / 10 A	2.5 m 固定長
【別売】オプション-L(200V)、 -L(230V)選択時	CABLE TYPE4	250 V / 10 A	2.5 m 固定長
【別売】オプション-L(200V)、 -L(230V)選択時	CABLE TYPE13	250 V / 15 A	2.5 m

※入力ケーブルの詳細はCABLEシリーズカタログをご参照ください。

出力ケーブル

1kV～15kVモデル	CN-15-MHVP	2.5m 長さ指定可能
20kV～30kVモデル	CN-30-MHVP	2.5m 長さ指定可能
20kV～30kVモデル	CN-30-MHVPP	2.5m 長さ指定可能
40kVモデル	CN-45-MHVPP	2.5m 長さ指定可能
40kVモデル	CN-45-MHVP	2.5m 長さ指定可能
50kV～60kVモデル	CN-60-MHVP	2.5m 長さ指定可能
80kV～120kVモデル	CN-120-MHVP	2.5 m 長さ指定可能
150kVモデル	CN-150-MHVP	2.5 m 長さ指定可能